Plachetă de safir de 12 inch pentru fabricarea de semiconductori de volum mare

Plachetă de safir de 12 inci pentru producția de semiconductori de volum mare Imagine prezentată

Scurtă descriere:

Placheta de safir de 12 inch este concepută pentru a satisface cererea tot mai mare de semiconductori și optoelectronici de mare capacitate și suprafețe mari pentru fabricarea de semiconductori și optoelectronici. Pe măsură ce arhitecturile dispozitivelor continuă să se extindă, iar liniile de producție se îndreaptă către formate de plachete mai mari, substraturile de safir cu diametre ultra-mari oferă avantaje clare în ceea ce privește productivitatea, optimizarea randamentului și controlul costurilor.

Trimiteți-ne un e-mail

Caracteristici

Diagramă detaliată

Introducerea plachetei de safir de 12 inch

Fabricate din Al₂O₃ monocristal de înaltă puritate, napolitanele noastre de safir de 12 inch combină o rezistență mecanică excelentă, stabilitatea termică și calitatea suprafeței. Prin creșterea optimizată a cristalelor și procesarea precisă a napolitanelor, aceste substraturi oferă performanțe fiabile pentru aplicații avansate cu LED-uri, GaN și semiconductori speciali.

Caracteristicile materialelor

Safirul (oxid de aluminiu monocristalin, Al₂O₃) este bine cunoscut pentru proprietățile sale fizice și chimice remarcabile. Napolitanele de safir de 12 inch moștenesc toate avantajele materialului safir, oferind în același timp o suprafață utilizabilă mult mai mare.

Caracteristicile cheie ale materialelor includ:

Duritate și rezistență la uzură extrem de ridicate
Stabilitate termică excelentă și punct de topire ridicat
Rezistență chimică superioară la acizi și baze
Transparență optică ridicată de la lungimi de undă UV la IR
Proprietăți excelente de izolare electrică

Aceste caracteristici fac ca napolitanele de safir de 12 inch să fie potrivite pentru medii de procesare dure și procese de fabricație a semiconductorilor la temperaturi ridicate.

Procesul de fabricație

Producția de napolitane de safir de 12 inch necesită tehnologii avansate de creștere a cristalelor și de procesare ultra-precisă. Procesul tipic de fabricație include:

Creșterea monocristalului
Cristalele de safir de înaltă puritate sunt cultivate folosind metode avansate, cum ar fi KY sau alte tehnologii de creștere a cristalelor cu diametru mare, asigurând o orientare uniformă a cristalelor și o tensiune internă redusă.
Modelarea și felierea cristalelor
Lingoul de safir este modelat cu precizie și feliat în napolitane de 12 inci folosind echipamente de tăiere de înaltă precizie pentru a minimiza deteriorarea subsolului.
Lepuire și lustruire
Procesele de lepuire în mai multe etape și de lustruire chimico-mecanică (CMP) sunt aplicate pentru a obține o rugozitate excelentă a suprafeței, o planeitate și o uniformitate a grosimii.
Curățare și inspecție
Fiecare plachetă de safir de 12 inch este supusă unei curățări temeinice și unei inspecții stricte, inclusiv analize ale calității suprafeței, TTV, curbură, deformare și defecte.

Aplicații

Napolitanele de safir de 12 inch sunt utilizate pe scară largă în tehnologii avansate și emergente, inclusiv:

Substraturi LED de mare putere și luminozitate ridicată
Dispozitive de alimentare și dispozitive RF bazate pe GaN
Suporturi și substraturi izolatoare pentru echipamente semiconductoare
Ferestre optice și componente optice de suprafață mare
Ambalaje avansate pentru semiconductori și purtători speciali de proces

Diametrul mare permite un randament mai mare și o eficiență îmbunătățită a costurilor în producția de masă.

Avantajele napolitanelor din safir de 12 inch

Suprafață utilizabilă mai mare pentru o putere mai mare a dispozitivului per placă
Consecvență și uniformitate îmbunătățite ale procesului
Cost redus per dispozitiv în producția de volum mare
Rezistență mecanică excelentă pentru manipularea de dimensiuni mari
Specificații personalizabile pentru diferite aplicații

Opțiuni de personalizare

Oferim personalizare flexibilă pentru napolitane de safir de 12 inch, inclusiv:

Orientarea cristalului (planul C, planul A, planul R etc.)
Toleranță la grosime și diametru
Lustruire pe o singură față sau pe ambele fețe
Profilul muchiei și designul teșiturii
Cerințe privind rugozitatea și planeitatea suprafeței

Parametru	Specificații	Note
Diametrul plachetei	12 inci (300 mm)	Placă standard cu diametru mare
Material	Safir monocristal (Al₂O₃)	De înaltă puritate, grad electronic/optic
Orientarea cristalului	Planul C (0001), Planul A (11-20), Planul R (1-102)	Orientări opționale disponibile
Grosime	430–500 μm	Grosime personalizată disponibilă la cerere
Toleranță de grosime	±10 μm	Toleranță strictă pentru dispozitive avansate
Variația totală a grosimii (TTV)	≤10 μm	Asigură procesarea uniformă pe toată suprafața waferului
Arc	≤50 μm	Măsurat pe întreaga placă
Urzeală	≤50 μm	Măsurat pe întreaga placă
Finisajul suprafeței	Lustruit pe o singură față (SSP) / Lustruit pe ambele fețe (DSP)	Suprafață de înaltă calitate optică
Rugozitatea suprafeței (Ra)	≤0,5 nm (lustruit)	Netezime la nivel atomic pentru creșterea epitaxială
Profilul muchiei	Teșitură / Margine rotunjită	Pentru a preveni ciobirea în timpul manipulării
Precizia orientării	±0,5°	Asigură creșterea corectă a stratului epitaxial
Densitatea defectelor	<10 cm⁻²	Măsurat prin inspecție optică
Planeitate	≤2 μm / 100 mm	Asigură o litografie uniformă și o creștere epitaxială
Curăţenie	Clasa 100 – Clasa 1000	Compatibil cu camere sterile
Transmisie optică	>85% (UV-IR)	Depinde de lungimea de undă și grosime

Întrebări frecvente despre napolitanele cu safir de 12 inch

Î1: Care este grosimea standard a unei plăcuțe de safir de 12 inci?
R: Grosimea standard variază de la 430 μm la 500 μm. Se pot produce și grosimi personalizate, conform cerințelor clientului.

Î2: Ce orientări ale cristalelor sunt disponibile pentru napolitanele de safir de 12 inch?
R: Oferim orientări pentru planul C (0001), planul A (11-20) și planul R (1-102). Alte orientări pot fi personalizate în funcție de cerințele specifice ale dispozitivului.

Î3: Care este variația totală a grosimii (TTV) a plachetei?
R: Napolitanele noastre de safir de 12 inch au de obicei un TTV ≤10 μm, asigurând uniformitate pe întreaga suprafață a napolitanei pentru fabricarea de dispozitive de înaltă calitate.

Despre noi

XKH este specializată în dezvoltarea, producția și vânzarea de sticlă optică specială și materiale cristaline noi, de înaltă tehnologie. Produsele noastre sunt destinate electronicii optice, electronicelor de larg consum și armatei. Oferim componente optice din safir, capace pentru lentile de telefoane mobile, ceramică, LT, SIC din carbură de siliciu, cuarț și napolitane din cristale semiconductoare. Cu expertiză calificată și echipamente de ultimă generație, excelăm în procesarea produselor non-standard, cu scopul de a fi o întreprindere lider în domeniul materialelor optoelectronice de înaltă tehnologie.