Substrat de carbură de siliciu cu diametru de 150 mm pentru producție de plachete SiC 4H-N/6H-N
Specificații pentru substratul de carbură de siliciu (SiC) cu diametrul de 6 inci
Grad | Zero MPD | Producție | Grad de cercetare | Grad fictiv |
Diametru | 150,0 mm ± 0,25 mm | |||
Grosime | 4H-N | 350um ± 25um | ||
4H-SI | 500um ± 25um | |||
Orientarea plachetei | Pe axă: <0001>±0,5° pentru 4H-SI | |||
Apartament principal | {10-10}±5,0° | |||
Lungime plată principală | 47,5 mm ± 2,5 mm | |||
Excluderea marginilor | 3 mm | |||
TTV/Arc/Urzeală | ≤15um/≤40um/≤60um | |||
Densitatea microțevilor | ≤1cm-2 | ≤5cm-2 | ≤15cm-2 | ≤50cm-2 |
Rezistență 4H-N 4H-SI | 0,015~0,028 Ω!cm | |||
≥1E5Ω!cm | ||||
Rugozitate | Ra poloneză ≤1nm CMP Ra ≤0.5nm | |||
#Crăpături cauzate de lumină de intensitate mare | Nici unul | 1 permis, ≤2 mm | Lungime cumulată ≤10 mm, lungime unică ≤2 mm | |
*Plăci hexagonale prin lumină de intensitate mare | Suprafață cumulată ≤1% | Suprafață cumulată ≤ 2% | Suprafață cumulată ≤ 5% | |
*Zone politipate prin lumină de intensitate mare | Nici unul | Suprafață cumulată ≤ 2% | Suprafață cumulată ≤ 5% | |
Zgârieturi cauzate de lumina de intensitate mare | 3 zgârieturi la 1 x diametrul plachetei lungime cumulată | 5 zgârieturi la 1 x diametrul plachetei lungime cumulată | 5 zgârieturi până la 1 x diametrul plachetei lungime cumulată | |
Cip de margine | Nici unul | 3 permise, ≤0,5 mm fiecare | 5 permise, ≤1 mm fiecare | |
Contaminare cu lumină de intensitate mare | Nici unul
|
Vânzări și Serviciu Clienți
Achiziționarea de materiale
Departamentul de achiziții de materiale este responsabil pentru colectarea tuturor materiilor prime necesare pentru producerea produsului dumneavoastră. Trasabilitatea completă a tuturor produselor și materialelor, inclusiv analizele chimice și fizice, este întotdeauna disponibilă.
Calitate
În timpul și după fabricarea sau prelucrarea produselor dumneavoastră, departamentul de control al calității este implicat în asigurarea faptului că toate materialele și toleranțele îndeplinesc sau depășesc specificațiile dumneavoastră.
Serviciu
Ne mândrim cu faptul că avem personal de inginerie de vânzări cu peste 5 ani de experiență în industria semiconductorilor. Aceștia sunt instruiți să răspundă la întrebări tehnice, precum și să ofere oferte de preț la timp pentru nevoile dumneavoastră.
Suntem alături de tine oricând ai o problemă și o rezolvăm în 10 ore.
Diagramă detaliată

