Placă SiC 4H/6H-P de 6 inch, grad zero MPD, grad de producție, grad fictiv
Tabel cu parametri comuni pentru substraturi compozite SiC tip 4H/6H-P
6 substrat de carbură de siliciu (SiC) cu diametrul de inch Specificații
Grad | Producție zero MPDGrad (Z) Grad) | Producție standardGrad (P) Grad) | Grad fictiv (D Grad) | ||
Diametru | 145,5 mm~150,0 mm | ||||
Grosime | 350 μm ± 25 μm | ||||
Orientarea plachetei | -Offaxă: 2,0°-4,0° către [1120] ± 0,5° pentru 4H/6H-P, Pe axă: 〈111〉± 0,5° pentru 3C-N | ||||
Densitatea microțevilor | 0 cm-2 | ||||
Rezistență | tip p 4H/6H-P | ≤0,1 Ωcm | ≤0,3 Ωcm | ||
tip n 3C-N | ≤0,8 mΩ·cm | ≤1 m Ωcm | |||
Orientare principală plată | 4H/6H-P | -{1010} ± 5,0° | |||
3C-N | -{110} ± 5,0° | ||||
Lungime plată principală | 32,5 mm ± 2,0 mm | ||||
Lungime plată secundară | 18,0 mm ± 2,0 mm | ||||
Orientare secundară plată | Fața cu silicon în sus: 90° în sensul acelor de ceasornic față de suprafața plată Prime ± 5,0° | ||||
Excluderea marginilor | 3 mm | 6 mm | |||
LTV/TTV/Arc/Urzeală | ≤2,5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||
Rugozitate | Ra ≤ 1 nm pentru polish | ||||
CMP Ra≤0,2 nm | Ra≤0,5 nm | ||||
Crăpături pe margini cauzate de lumină de intensitate mare | Nici unul | Lungime cumulată ≤ 10 mm, lungime unică ≤ 2 mm | |||
Plăci hexagonale prin lumină de înaltă intensitate | Suprafață cumulată ≤0,05% | Suprafață cumulată ≤0,1% | |||
Zone politipe prin lumină de intensitate mare | Nici unul | Suprafață cumulată ≤3% | |||
Incluziuni vizuale de carbon | Suprafață cumulată ≤0,05% | Suprafață cumulată ≤3% | |||
Zgârieturi pe suprafața de siliciu cauzate de lumină de intensitate mare | Nici unul | Lungime cumulată ≤ 1 × diametrul plachetei | |||
Cipuri de margine de înaltă intensitate prin lumină | Niciuna permisă lățime și adâncime ≥0,2 mm | 5 permise, ≤1 mm fiecare | |||
Contaminarea suprafeței cu siliciu prin intensitate ridicată | Nici unul | ||||
Ambalaj | Casetă cu mai multe napolitane sau recipient cu o singură napolitană |
Note:
※ Limitele de defecte se aplică întregii suprafețe a plachetei, cu excepția zonei de excludere a marginii. # Zgârieturile trebuie verificate pe fața Si.
Placheta SiC de tip 4H/6H-P de 6 inci, cu grad Zero MPD și grad de producție sau dummy, este utilizată pe scară largă în aplicații electronice avansate. Conductivitatea termică excelentă, tensiunea ridicată de străpungere și rezistența la medii dure o fac ideală pentru electronica de putere, cum ar fi comutatoarele și invertoarele de înaltă tensiune. Gradul Zero MPD asigură defecte minime, esențiale pentru dispozitivele de înaltă fiabilitate. Plachetele de producție sunt utilizate în fabricarea la scară largă a dispozitivelor de putere și a aplicațiilor RF, unde performanța și precizia sunt cruciale. Pe de altă parte, plachetele de grad dummy sunt utilizate pentru calibrarea proceselor, testarea echipamentelor și prototiparea, permițând un control consistent al calității în mediile de producție a semiconductorilor.
Avantajele substraturilor compozite SiC de tip N includ
- Conductivitate termică ridicatăPlacheta 4H/6H-P SiC disipă eficient căldura, fiind potrivită pentru aplicații electronice la temperaturi ridicate și putere mare.
- Tensiune de străpungere ridicatăCapacitatea sa de a gestiona tensiuni ridicate fără defecțiuni îl face ideal pentru electronică de putere și aplicații de comutare de înaltă tensiune.
- Grad zero MPD (micro defecte de țeavă)Densitatea minimă a defectelor asigură o fiabilitate și o performanță mai ridicate, esențiale pentru dispozitivele electronice solicitante.
- Grad de producție pentru producție în masăPotrivit pentru producția la scară largă de dispozitive semiconductoare de înaltă performanță cu standarde stricte de calitate.
- Calitate fictivă pentru testare și calibrarePermite optimizarea proceselor, testarea echipamentelor și prototiparea fără a utiliza plachete de producție de mare cost.
Per total, napolitanele SiC 4H/6H-P de 6 inci cu grad Zero MPD, grad de producție și grad dummy oferă avantaje semnificative pentru dezvoltarea de dispozitive electronice de înaltă performanță. Aceste napolitane sunt deosebit de benefice în aplicațiile care necesită funcționare la temperaturi ridicate, densitate mare de putere și conversie eficientă a puterii. Gradul Zero MPD asigură defecte minime pentru performanțe fiabile și stabile ale dispozitivelor, în timp ce napolitanele de producție permit fabricația la scară largă cu controale stricte de calitate. Napolitanele de grad dummy oferă o soluție rentabilă pentru optimizarea proceselor și calibrarea echipamentelor, ceea ce le face indispensabile pentru fabricarea semiconductorilor de înaltă precizie.
Diagramă detaliată

