Placă LNOI cu monocristal de niobat de litiu de 4 inch și 6 inch
Procesul de preparare a materialelor LNOI este împărțit în principal în următoarele patru etape
(1) Ionii He au fost injectați în materialul de niobat de litiu tăiat în X la o anumită energie și introduși în stratul defect la o anumită adâncime sub stratul superficial de niobat de litiu;
(2) Materialul de niobat de litiu implantat cu ioni este lipit de un substrat de siliciu cu un strat de oxid pentru a forma o structură de legătură;
(3) Structura de legătură a fost recoaptă pentru a face ca defectele introduse de implantarea ionilor He să evolueze și să se agrege, formând fisuri. În final, niobatul de litiu a fost separat de-a lungul stratului defect pentru a forma feliile reziduale de niobat de litiu și napolitanele LNOI.
Aplicații și avantaje ale plachetei LNOI
1--Filmele piezoelectrice din niobat de litiu (LNOI) au un coeficient piezoelectric și o constantă dielectrică ridicate, putând converti energia mecanică în energie electrică sau energia electrică în energie mecanică. Prin urmare, sunt utilizate pe scară largă în domeniul senzorilor, cum ar fi senzorii de presiune, senzorii de accelerație, senzorii de temperatură și așa mai departe. În plus, pelicula piezoelectrică din niobat de litiu poate fi utilizată și în dispozitive acustice și dispozitive de vibrații, cum ar fi traductoarele piezoelectrice ceramice complexe, filtrele piezoelectrice ceramice.
2-Stabilitatea peliculei piezoelectrice de niobat de litiu este, de asemenea, unul dintre avantajele sale. Datorită stabilității structurii cristaline și inerției chimice, pelicula piezoelectrică de niobat de litiu poate funcționa la temperaturi ridicate, umiditate ridicată, acizi puternici, alcali puternici și alte medii dure, având o bună rezistență la coroziune și durabilitate.
Pelicula piezoelectrică pe bază de niobat de litiu 3 este un material piezoelectric nou, cu performanțe și stabilitate excelente și cu perspective largi de aplicare. Odată cu dezvoltarea continuă a științei și tehnologiei, pelicula piezoelectrică pe bază de niobat de litiu va fi utilizată în tot mai multe orașe, aducând mai mult confort și inovație în viața oamenilor.
Diagramă detaliată


