Napolitană LNOI cu film monocristal de niobat de litiu de 4 inch și 6 inch
Procesul de pregătire a materialelor LNOI este împărțit în principal în următoarele patru etape
(1) Ionii He au fost injectați în materialul de niobat de litiu tăiat în X la o anumită energie și introduși în stratul defect la o anumită adâncime sub stratul de suprafață de niobat de litiu;
(2) Materialul de niobat de litiu implantat cu ioni este legat de un substrat de siliciu cu un strat de oxid pentru a forma o structură de legătură;
(3) Structura de legare a fost recoaptă pentru a face ca defectele introduse de implantarea ionilor He să evolueze și să se agregă pentru a forma fisuri. În cele din urmă, niobatul de litiu a fost separat de-a lungul stratului defect pentru a forma feliile de niobat de litiu reziduale și plachetele LNOI.
Aplicații și avantaje ale plachetei LNOI
1 - Filmele piezoelectrice cu niobat de litiu (LNOI) au coeficient piezoelectric ridicat și constantă dielectrică, care pot converti energia mecanică în energie electrică sau energia electrică în energie mecanică. Prin urmare, este utilizat pe scară largă în domeniul senzorilor, cum ar fi senzori de presiune, senzori de accelerație, senzori de temperatură și așa mai departe. În plus, filmul piezoelectric cu niobat de litiu poate fi folosit și în dispozitive acustice și dispozitive de vibrație, cum ar fi filtrul ceramic piezoelectric cu traductor ceramic piezoelectric complex.
2-Stabilitatea filmului piezoelectric cu niobat de litiu este, de asemenea, unul dintre avantajele sale. Datorită stabilității structurii sale cristaline și inerției chimice, filmul piezoelectric cu niobat de litiu poate funcționa la temperaturi ridicate, umiditate ridicată, acid puternic, alcali puternic și alte medii dure, cu o bună rezistență la coroziune și durabilitate.
Filmul piezoelectric cu niobat de 3 litiu este un nou material piezoelectric cu performanțe și stabilitate excelente și are o perspectivă largă de aplicare. Odată cu dezvoltarea continuă a științei și tehnologiei, filmul piezoelectric cu niobat de litiu va fi aplicat în mai multe orașe, aducând mai multă comoditate și inovație în viața oamenilor.