150 mm 6 inchi 0,7 mm 0,5 mm Safir Wafer Suport substrat C-Plane SSP/DSP
Aplicații
Aplicațiile pentru napolitanele de safir de 6 inci includ:
1. Fabricarea LED-urilor: napolitana de safir poate fi folosită ca substrat al cipurilor LED, iar duritatea și conductibilitatea termică pot îmbunătăți stabilitatea și durata de viață a cipurilor LED.
2. Fabricarea laserului: napolitana de safir poate fi folosită și ca substrat al laserului, pentru a ajuta la îmbunătățirea performanței laserului și pentru a prelungi durata de viață.
3. Fabricarea semiconductoarelor: napolitanele de safir sunt utilizate pe scară largă la fabricarea de dispozitive electronice și optoelectronice, inclusiv sinteza optică, celule solare, dispozitive electronice de înaltă frecvență etc.
4. Alte aplicații: Napolitana de safir poate fi folosită și pentru fabricarea de ecrane tactile, dispozitive optice, celule solare cu film subțire și alte produse de înaltă tehnologie.
Caietul de sarcini
Material | Al2O3 monocristal de înaltă puritate, napolitană de safir. |
Dimensiune | 150 mm +/- 0,05 mm, 6 inci |
Grosime | 1300 +/- 25 um |
Orientare | C plan (0001) off M (1-100) plan 0,2 +/- 0,05 grade |
Orientare plată primară | Un avion +/- 1 grad |
Lungime plată primară | 47,5 mm +/- 1 mm |
Variația totală a grosimii (TTV) | <20 um |
Arc | <25 um |
Urzeală | <25 um |
Coeficientul de dilatare termică | 6,66 x 10-6 / °C paralel cu axa C, 5 x 10-6 / °C perpendicular pe axa C |
Rezistenta dielectrica | 4,8 x 105 V/cm |
Constanta dielectrica | 11,5 (1 MHz) de-a lungul axei C, 9,3 (1 MHz) perpendicular pe axa C |
Tangenta de pierdere dielectrică (alias factor de disipare) | mai puțin de 1 x 10-4 |
Conductivitate termică | 40 W/(mK) la 20℃ |
Lustruire | lustruit cu o singură față (SSP) sau lustruit cu două părți (DSP) Ra < 0,5 nm (prin AFM). Partea inversă a plachetei SSP a fost măcinată fin la Ra = 0,8 - 1,2 um. |
Transmisie | 88% +/-1% @460 nm |
Diagrama detaliată

