Placă de siliciu CZ Si de tip N sau P de 6 inch
Introducerea cutiei de napolitane
Specificațiile plachetei de siliciu:
Creștere a plachetei de siliciu de 6 inch: CZ, MCZ, FZ.
6 Gradul de napolitană de siliciu: Prime, Test, Dummy, etc.
Diametru plachetă de siliciu de 6 inch: 6 inch / 150 mm.
Grosimea unei plăcuțe de siliciu de 6 inch: 200 ~ 3000 µm.
Finisaj napolitan de siliciu de 6 inch: tăiat, lepuit, gravat, SSP, DSP etc.
Orientarea plachetei de siliciu de 6 inch: (100) (111) (110) (531) (553) etc.
Placă de siliciu de 6 inch Tăiere: până la 4 grade.
Tip/dopant de plachetă de siliciu de 6 inch: P/B, N/Phos, N/As, N/Sb, intrinsec.
Rezistență plachetă de siliciu de 6 inch: CZ/MCZ: De la 0,001 la 1000 ohm-cm. FZ: până la 20k ohm-cm.
Filme subțiri pentru plachete de siliciu de 6 inch: (a) PVD: Al, Cu, Au, Cr, Si, Ni, Fe, Mo etc., Grosimi de acoperire de până la 20.000A/5%.
(b) LPCVD/PECVD: Oxid, nitrură, siC etc., grosimi de acoperire de până la 200.000A/3%.
(c) Napolitane epitaxiale de siliciu și servicii epitaxiale (SOS, GaN, GOI etc.).
Procese pentru plachete de siliciu de 6 inch: a.DSP, ultra subțiri, ultra plate etc.
b. Reducerea dimensiunilor, șlefuirea inversă, tăierea în cuburi etc. c. MEMS.
Încă din 2010, Shanghai XKH Material Tech. Co.,Ltd s-a dedicat furnizării de soluții complete pentru napolitane de siliciu de 4 inch, de la napolitane de nivel de depanare (dummy wafer), napolitane de nivel de testare (test wafer), până la napolitane de nivel de produs (prime wafer), precum și napolitane speciale, napolitane de oxid, napolitane de nitrură Si3N4, napolitane placate cu aluminiu, napolitane de siliciu placate cu cupru, napolitane SOI, sticlă MEMS, napolitane ultra-groase și ultra-plate personalizate etc., cu dimensiuni cuprinse între 50 mm și 300 mm, putând oferi napolitane semiconductoare cu lustruire, subțiere, tăiere în cuburi, MEMS și alte servicii de procesare și personalizare pe o singură față/față.
Diagramă detaliată


