Substrat lustruit personalizat, de calitate superioară, din carbură de siliciu SiC de 8 inch, tip 4H-N, 0,5 mm, grad de producție, grad de cercetare
Principalele caracteristici ale substratului de carbură de siliciu de 8 inch de tip 4H-N includ:
1. Densitatea microtubulilor: ≤ 0,1/cm² sau mai mică, cum ar fi densitatea microtubulilor este redusă semnificativ la mai puțin de 0,05/cm² în cazul unor produse.
2. Raportul formei cristaline: raportul formei cristaline 4H-SiC atinge 100%.
3. Rezistență: 0,014~0,028 Ω·cm, sau mai stabilă între 0,015-0,025 Ω·cm.
4. Rugozitatea suprafeței: CMP Si Face Ra≤0.12nm.
5. Grosime: De obicei 500,0 ± 25 μm sau 350,0 ± 25 μm.
6. Unghi de teșire: 25±5° sau 30±5° pentru A1/A2, în funcție de grosime.
7. Densitatea totală a dislocațiilor: ≤3000/cm².
8. Contaminare metalică de suprafață: ≤1E+11 atomi/cm².
9. Îndoire și deformare: ≤ 20 μm și respectiv ≤ 2 μm.
Aceste caracteristici fac ca substraturile din carbură de siliciu de 8 inch să aibă o valoare aplicativă importantă în fabricarea dispozitivelor electronice de înaltă temperatură, înaltă frecvență și mare putere.
Placheta de carbură de siliciu de 8 inch are mai multe aplicații.
1. Dispozitive de putere: Napolitanele de SiC sunt utilizate pe scară largă în fabricarea dispozitivelor electronice de putere, cum ar fi MOSFET-urile de putere (tranzistoare cu efect de câmp metal-oxid-semiconductor), diodele Schottky și modulele de integrare a puterii. Datorită conductivității termice ridicate, tensiunii de străpungere ridicate și mobilității electronilor ridicate a SiC, aceste dispozitive pot realiza o conversie eficientă și de înaltă performanță a puterii în medii cu temperatură înaltă, tensiune înaltă și frecvență înaltă.
2. Dispozitive optoelectronice: Napolitanele de SiC joacă un rol vital în dispozitivele optoelectronice, utilizate pentru fabricarea fotodetectoarelor, diodelor laser, surselor ultraviolete etc. Proprietățile optice și electronice superioare ale carburii de siliciu o fac materialul preferat, în special în aplicațiile care necesită temperaturi ridicate, frecvențe ridicate și niveluri ridicate de putere.
3. Dispozitive de radiofrecvență (RF): Cipurile SiC sunt utilizate și pentru fabricarea dispozitivelor RF, cum ar fi amplificatoare de putere RF, comutatoare de înaltă frecvență, senzori RF și multe altele. Stabilitatea termică ridicată, caracteristicile de înaltă frecvență și pierderile reduse ale SiC îl fac ideal pentru aplicații RF, cum ar fi comunicațiile wireless și sistemele radar.
4. Electronică pentru temperaturi înalte: Datorită stabilității termice ridicate și elasticității la temperatură, napolitanele de SiC sunt utilizate pentru a produce produse electronice concepute să funcționeze în medii cu temperaturi ridicate, inclusiv electronică de putere, senzori și controlere pentru temperaturi înalte.
Principalele căi de aplicare ale substratului de carbură de siliciu de 8 inch de tip 4H-N includ fabricarea de dispozitive electronice pentru temperaturi înalte, frecvență înaltă și putere mare, în special în domeniile electronicii auto, energiei solare, generării de energie eoliană, locomotivelor electrice, serverelor, electrocasnicelor și vehiculelor electrice. În plus, dispozitive precum MOSFET-urile SiC și diodele Schottky au demonstrat performanțe excelente în frecvențele de comutare, experimentele de scurtcircuit și aplicațiile cu invertoare, ceea ce a dus la utilizarea lor în electronica de putere.
XKH poate fi personalizat cu diferite grosimi în funcție de cerințele clientului. Sunt disponibile diferite tratamente de rugozitate a suprafeței și lustruire. Sunt acceptate diferite tipuri de dopare (cum ar fi doparea cu azot). XKH poate oferi asistență tehnică și servicii de consultanță pentru a se asigura că clienții pot rezolva problemele în procesul de utilizare. Substratul de carbură de siliciu de 8 inch are avantaje semnificative în ceea ce privește reducerea costurilor și creșterea capacității, ceea ce poate reduce costul unitar al cipului cu aproximativ 50% în comparație cu substratul de 6 inch. În plus, grosimea crescută a substratului de 8 inch ajută la reducerea abaterilor geometrice și a deformării muchiilor în timpul prelucrării, îmbunătățind astfel randamentul.
Diagramă detaliată


