8 inch SiC Producție napolitană 4H-N substrat SiC

8 inch SiC Grad de producție Wafer 4H-N substrat SiC Imagine prezentată

Scurtă descriere:

Substraturile SiC de 8 inchi sunt utilizate în dispozitive electronice de mare putere, cum ar fi MOSFET-urile de putere (tranzistoare cu efect de câmp cu semiconductori de oxid de metal), diode Schottky și alte dispozitive semiconductoare de putere.

Trimiteți-ne un e-mail

Detaliu produs

Etichete de produs

Următorul tabel arată specificațiile napolitanelor noastre SiC de 8 inch:

Specificații DSP SiC de 8 inchi de tip N
Număr	Articol	Unitate	Productie	Cercetare	Manichin
1: parametri
1.1	politip	--	4H	4H	4H
1.2	orientarea suprafeței	°	<11-20>4±0,5	<11-20>4±0,5	<11-20>4±0,5
2: Parametrul electric
2.1	dopant	--	azot de tip n	azot de tip n	azot de tip n
2.2	rezistivitate	ohm ·cm	0,015~0,025	0,01~0,03	NA
3: Parametru mecanic
3.1	diametru	mm	200±0,2	200±0,2	200±0,2
3.2	grosime	μm	500±25	500±25	500±25
3.3	Orientarea crestăturii	°	[1- 100]±5	[1- 100]±5	[1- 100]±5
3.4	Adâncimea crestăturii	mm	1~1,5	1~1,5	1~1,5
3.5	LTV	μm	≤5(10mm*10mm)	≤5(10mm*10mm)	≤10(10mm*10mm)
3.6	TTV	μm	≤10	≤10	≤15
3.7	Arc	μm	-25~25	-45~45	-65~65
3.8	Urzeală	μm	≤30	≤50	≤70
3.9	AFM	nm	Ra≤0,2	Ra≤0,2	Ra≤0,2
4:Structură
4.1	densitatea microtevilor	ea/cm2	≤2	≤10	≤50
4.2	continutul de metal	atomi/cm2	≤1E11	≤1E11	NA
4.3	TSD	ea/cm2	≤500	≤1000	NA
4.4	BPD	ea/cm2	≤2000	≤5000	NA
4.5	TED	ea/cm2	≤7000	≤10000	NA
5.Calitate frontală
5.1	faţă	--	Si	Si	Si
5.2	finisarea suprafeței	--	Si-face CMP	Si-face CMP	Si-face CMP
5.3	particulă	ea/napolitana	≤100 (dimensiune≥0,3μm)	NA	NA
5.4	zgâria	ea/napolitana	≤5, lungime totală≤200mm	NA	NA
5.5	Margine așchii/indentări/fisuri/pete/contaminare	--	Nici unul	Nici unul	NA
5.6	Zone politip	--	Nici unul	Suprafață ≤10%	Suprafata ≤30%
5.7	marcaj frontal	--	Nici unul	Nici unul	Nici unul
6: Calitate din spate
6.1	finisaj spate	--	C-face MP	C-face MP	C-face MP
6.2	zgâria	mm	NA	NA	NA
6.3	Marginea defecte din spate chips-uri/indentări	--	Nici unul	Nici unul	NA
6.4	Rugozitatea spatelui	nm	Ra≤5	Ra≤5	Ra≤5
6.5	Marcare pe spate	--	Crestătură	Crestătură	Crestătură
7:marginea
7.1	margine	--	Teşitură	Teşitură	Teşitură
8: Pachet
8.1	ambalaj	--	Epi-gata cu vid ambalaj	Epi-gata cu vid ambalaj	Epi-gata cu vid ambalaj
8.2	ambalaj	--	Multi-plachetă ambalarea casetelor	Multi-plachetă ambalarea casetelor	Multi-plachetă ambalarea casetelor