8 inch SiC Producție napolitană 4H-N substrat SiC

Scurta descriere:

Substraturile SiC de 8 inchi sunt utilizate în dispozitivele electronice de mare putere, cum ar fi MOSFET-urile de putere (tranzistoare cu efect de câmp cu semiconductori de oxid de metal), diode Schottky și alte dispozitive semiconductoare de putere.


Detaliile produsului

Etichete de produs

Următorul tabel prezintă specificațiile napolitanelor noastre SiC de 8 inch:

Specificații DSP SiC de 8 inchi de tip N

Număr Articol Unitate Productie Cercetare Manichin
1: parametri
1.1 politip -- 4H 4H 4H
1.2 orientarea suprafeței ° <11-20>4±0,5 <11-20>4±0,5 <11-20>4±0,5
2: Parametrul electric
2.1 dopant -- azot de tip n azot de tip n azot de tip n
2.2 rezistivitate ohm ·cm 0,015~0,025 0,01~0,03 NA
3: Parametru mecanic
3.1 diametru mm 200±0,2 200±0,2 200±0,2
3.2 grosime μm 500±25 500±25 500±25
3.3 Orientarea crestăturii ° [1- 100]±5 [1- 100]±5 [1- 100]±5
3.4 Adâncimea crestăturii mm 1~1,5 1~1,5 1~1,5
3.5 LTV μm ≤5(10mm*10mm) ≤5(10mm*10mm) ≤10(10mm*10mm)
3.6 TTV μm ≤10 ≤10 ≤15
3.7 Arc μm -25~25 -45~45 -65~65
3.8 Urzeală μm ≤30 ≤50 ≤70
3.9 AFM nm Ra≤0,2 Ra≤0,2 Ra≤0,2
4:Structură
4.1 densitatea microtevilor ea/cm2 ≤2 ≤10 ≤50
4.2 continutul de metal atomi/cm2 ≤1E11 ≤1E11 NA
4.3 TSD ea/cm2 ≤500 ≤1000 NA
4.4 BPD ea/cm2 ≤2000 ≤5000 NA
4.5 TED ea/cm2 ≤7000 ≤10000 NA
5.Calitate frontală
5.1 față -- Si Si Si
5.2 finisarea suprafeței -- Si-face CMP Si-face CMP Si-face CMP
5.3 particulă ea/napolitana ≤100 (dimensiune≥0,3μm) NA NA
5.4 zgârietură ea/napolitana ≤5, lungime totală≤200mm NA NA
5.5 Margine
așchii/indentări/fisuri/pete/contaminare
-- Nici unul Nici unul NA
5.6 Zone politip -- Nici unul Suprafață ≤10% Suprafata ≤30%
5.7 marcaj frontal -- Nici unul Nici unul Nici unul
6: Calitate din spate
6.1 finisaj spate -- C-face MP C-face MP C-face MP
6.2 zgârietură mm NA NA NA
6.3 Marginea defecte din spate
chips-uri/indentări
-- Nici unul Nici unul NA
6.4 Rugozitatea spatelui nm Ra≤5 Ra≤5 Ra≤5
6.5 Marcare pe spate -- Crestătură Crestătură Crestătură
7:marginea
7.1 margine -- Teşit Teşit Teşit
8: Pachet
8.1 ambalaj -- Epi-gata cu vid
ambalaj
Epi-gata cu vid
ambalaj
Epi-gata cu vid
ambalaj
8.2 ambalaj -- Multi-plachetă
ambalarea casetelor
Multi-plachetă
ambalarea casetelor
Multi-plachetă
ambalarea casetelor

Diagrama detaliată

asd (1)
asd (2)
asd (3)

  • Anterior:
  • Următorul:

  • Scrie mesajul tău aici și trimite-l nouă