Substrat SiC 4H-N de 8 inch pentru plachete de SiC de producție
Următorul tabel prezintă specificațiile napolitanelor noastre SiC de 8 inch:
| Specificații DSP SiC de tip N de 8 inch | |||||
| Număr | Articol | Unitate | Producție | Cercetare | Manechin |
| 1: parametri | |||||
| 1.1 | politip | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | orientarea suprafeței | ° | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 |
| 2: Parametru electric | |||||
| 2.1 | dopant | -- | azot de tip n | azot de tip n | azot de tip n |
| 2.2 | rezistivitate | ohm ·cm | 0,015~0,025 | 0,01~0,03 | NA |
| 3: Parametru mecanic | |||||
| 3.1 | diametru | mm | 200±0,2 | 200±0,2 | 200±0,2 |
| 3.2 | grosime | μm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | Orientarea crestăturii | ° | [1-100]±5 | [1-100]±5 | [1-100]±5 |
| 3.4 | Adâncimea crestăturii | mm | 1~1,5 | 1~1,5 | 1~1,5 |
| 3.5 | Valoarea clientului (LTV) | μm | ≤5 (10 mm * 10 mm) | ≤5 (10 mm * 10 mm) | ≤10 (10 mm * 10 mm) |
| 3.6 | TTV | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | Arc | μm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | Urzeală | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | AFM | nm | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 |
| 4: Structură | |||||
| 4.1 | densitatea microțevilor | ea/cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | conținut de metale | atomi/cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | ea/cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | BPD | ea/cm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | TED | ea/cm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. Calitatea frontală | |||||
| 5.1 | faţă | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | finisajul suprafeței | -- | CMP Si-face | CMP Si-face | CMP Si-face |
| 5.3 | particulă | napolitană | ≤100 (dimensiune ≥0,3 μm) | NA | NA |
| 5.4 | zgâria | napolitană | Lungime totală ≤5, ≤200 mm | NA | NA |
| 5.5 | Margine ciobiri/indentări/crăpături/pete/contaminare | -- | Nici unul | Nici unul | NA |
| 5.6 | Zone politipe | -- | Nici unul | Suprafață ≤10% | Suprafață ≤30% |
| 5.7 | marcaj frontal | -- | Nici unul | Nici unul | Nici unul |
| 6: Calitatea spatelui | |||||
| 6.1 | finisaj spate | -- | C-face MP | C-face MP | C-face MP |
| 6.2 | zgâria | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | Marginea defectelor din spate ciobituri/indentări | -- | Nici unul | Nici unul | NA |
| 6.4 | Rugozitatea spatelui | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6,5 | Marcaj spate | -- | Crestătură | Crestătură | Crestătură |
| 7: margine | |||||
| 7.1 | margine | -- | Teșitură | Teșitură | Teșitură |
| 8: Pachet | |||||
| 8.1 | ambalaj | -- | Epi-ready cu vid ambalaj | Epi-ready cu vid ambalaj | Epi-ready cu vid ambalaj |
| 8.2 | ambalaj | -- | Multi-plafon ambalare casetă | Multi-plafon ambalare casetă | Multi-plafon ambalare casetă |
Diagramă detaliată
Scrie mesajul tău aici și trimite-l nouă