Plachetă LiTaO3 2-8 inci 10x10x0.5 mm 1sp 2sp pentru comunicații 5G/6G
Parametri tehnici
Nume | LiTaO3 de calitate optică | Nivelul tabelului sonor LiTaO3 |
Axial | Tăiere Z + / - 0,2 ° | Tăiere Y 36° / Tăiere Y 42° / Tăiere X (+ / - 0,2 °) |
Diametru | 76,2 mm + / - 0,3 mm/ 100±0,2mm | 76,2 mm + /- 0,3 mm 100 mm + /-0,3 mm 0r 150 ± 0,5 mm |
Plan de referință | 22 mm + / - 2 mm | 22mm +/-2mm 32mm +/-2mm |
Grosime | 500um +/-5mm 1000um +/-5mm | 500um +/-20mm 350um +/-20mm |
TTV | ≤ 10 µm | ≤ 10 µm |
Temperatura Curie | 605 °C + / - 0,7 °C (metoda DTA) | 605 °C + / -3 °C (metoda DTA) |
Calitatea suprafeței | Lustruire pe ambele fețe | Lustruire pe ambele fețe |
Margini teșite | rotunjirea muchiilor | rotunjirea muchiilor |
Caracteristici cheie
1. Performanță electrică și optică
· Coeficient electro-optic: r33 atinge 30 pm/V (X-cut), de 1,5 ori mai mare decât LiNbO3, permițând modulația electro-optică în bandă ultra-largă (lățime de bandă >40 GHz).
· Răspuns spectral larg: Interval de transmisie 0,4–5,0 μm (grosime 8 mm), cu o margine de absorbție ultravioletă de până la 280 nm, ideal pentru lasere UV și dispozitive cu puncte cuantice.
· Coeficient piroelectric scăzut: dP/dT = 3,5×10⁻⁴ C/(m²·K), asigurând stabilitatea senzorilor cu infraroșu pentru temperaturi înalte.
2. Proprietăți termice și mecanice
· Conductivitate termică ridicată: 4,6 W/m·K (tăiere X), de patru ori mai mare decât cea a cuarțului, suportând cicluri termice de -200–500°C.
· Coeficient de dilatare termică scăzut: CTE = 4,1×10⁻⁶/K (25–1000°C), compatibil cu ambalajele din silicon pentru a minimiza stresul termic.
3. Controlul defectelor și precizia procesării
· Densitatea microțevilor: <0,1 cm⁻² (plachete de 8 inch), densitatea dislocațiilor <500 cm⁻² (verificată prin gravare KOH).
· Calitatea suprafeței: lustruită prin CMP la Ra <0,5 nm, îndeplinind cerințele de planeitate pentru litografie EUV.
Aplicații cheie
Domeniu | Scenarii de aplicații | Avantaje tehnice |
Comunicații optice | Lasere DWDM 100G/400G, module hibride fotonice din siliciu | Transmisia spectrală largă a plachetei de LiTaO3 și pierderea redusă a ghidului de undă (α <0,1 dB/cm) permit extinderea în banda C. |
Comunicații 5G/6G | Filtre SAW (1,8–3,5 GHz), filtre BAW-SMR | Napolitanele tăiate la 42°Y ating un Kt² >15%, oferind o pierdere de inserție redusă (<1,5 dB) și o atenuare ridicată a rezistenței la rotunjire (>30 dB). |
Tehnologii cuantice | Detectoare cu un singur foton, surse parametrice de conversie descendentă | Coeficientul neliniar ridicat (χ(2) = 40 pm/V) și rata scăzută de numărare a luminii întunecate (<100 numărări/s) sporesc fidelitatea cuantică. |
Senzori Industriali | Senzori de presiune pentru temperaturi înalte, transformatoare de curent | Răspunsul piezoelectric al plachetei de LiTaO3 (g33 >20 mV/m) și toleranța la temperaturi ridicate (>400°C) sunt potrivite pentru medii extreme. |
Servicii XKH
1. Fabricarea de napolitane personalizate
· Dimensiune și tăiere: napolitane de 2–8 inci cu tăiere X/Y/Z, tăiere Y la 42° și tăieri unghiulare personalizate (toleranță ±0,01°).
· Controlul dopajului: Dopare cu Fe, Mg prin metoda Czochralski (interval de concentrație 10¹⁶–10¹⁹ cm⁻³) pentru optimizarea coeficienților electro-optici și a stabilității termice.
2. Tehnologii avansate de proces
· Polarizare periodică (PPLT): Tehnologie Smart-Cut pentru napolitane LTOI, atingând o precizie a perioadei de domeniu de ±10 nm și o conversie de frecvență cvasi-potrivită în fază (QPM).
· Integrare eterogenă: Napolitane compozite (POI) pe bază de Si LiTaO3 cu control al grosimii (300–600 nm) și conductivitate termică de până la 8,78 W/m·K pentru filtre SAW de înaltă frecvență.
3. Sisteme de management al calității
· Testare end-to-end: spectroscopie Raman (verificare politipică), XRD (cristalinitate), AFM (morfologie de suprafață) și testare a uniformității optice (Δn <5×10⁻⁵).
4. Suport pentru lanțul de aprovizionare global
· Capacitate de producție: Producție lunară >5.000 de napolitane (8 inch: 70%), cu livrare de urgență în 48 de ore.
· Rețea logistică: Acoperire în Europa, America de Nord și Asia-Pacific prin transport aerian/maritim cu ambalaj cu temperatură controlată.


