Cuprins
1. Prezentare generală și funcții principale ale FOUP
2. Structura și caracteristicile de design ale FOUP
3. Clasificarea și ghidurile de aplicare ale FOUP
4. Operațiuni și importanța FOUP în fabricarea semiconductorilor
5. Provocări tehnice și tendințe de dezvoltare viitoare
6. Soluții personalizate și asistență pentru service oferite de XKH
În procesul de fabricație a semiconductorilor, Front Opening Unified Pod (FOUP) este un container esențial utilizat pentru protejarea, transportul și depozitarea napolitanelor. Interiorul său poate găzdui 25 de bucăți de napolitane de 300 mm, iar componentele sale principale includ un container cu deschidere frontală și un cadru de ușă dedicat pentru deschidere și închidere. FOUP este un purtător de miez în sistemul automat de transport din cadrul fabricilor de napolitane de 12 inch. De obicei, este transportat într-o stare închisă și se deschide doar atunci când este împins către portul de încărcare al echipamentului, permițând transferul napolitanelor în portul de încărcare/descărcare al echipamentului.
Designul robotului de manipulare a napolitanelor (FOUP) este adaptat cerințelor micromediului. Acesta dispune de fante în spate pentru introducerea napolitanelor, iar capacul este special conceput pentru a se potrivi cu clema deschizătorului. Roboții de manipulare a napolitanelor funcționează într-un mediu cu aer curat de Clasa 1, asigurându-se că napolitanele nu sunt contaminate în timpul transmisiei. În plus, robotul de manipulare a napolitanelor (FOUP) este mutat între uneltele de proces prin intermediul unui sistem automat de manipulare a materialelor (AMHS). Fabricile moderne de napolitane utilizează în mare parte sisteme feroviare aeriene pentru transport, în timp ce câteva fabrici mai vechi pot utiliza vehicule ghidate automat (AGV) la sol.
FOUP nu numai că permite transferul automat al napolitanelor, dar îndeplinește și o funcție de stocare. Datorită numeroaselor etape de fabricație, napolitanele pot necesita luni de zile pentru a finaliza întregul flux de proces. Combinată cu volumele mari de producție lunare, aceasta înseamnă că zeci de mii de napolitane dintr-o fabrică sunt constant în tranzit sau depozitate temporar în orice moment. În timpul depozitării, FOUP-urile sunt purjate periodic cu azot pentru a preveni contactul contaminanților cu napolitanele, asigurând un proces de producție curat și fiabil.
1. Funcțiile și importanța FOUP
Funcția principală a FOUP este de a proteja napolitanele de șocuri externe și contaminare, evitând în special impactul asupra randamentului în timpul transferului. Acesta previne eficient umezeala prin metode precum purjarea cu gaz și controlul atmosferei locale (LAC), asigurându-se că napolitanele rămân într-o stare sigură în așteptarea următoarei etape de fabricație. Sistemul său etanș și controlat permite pătrunderea doar a compușilor și elementelor necesare, reducând semnificativ efectele adverse ale COV-urilor, oxigenului și umidității asupra napolitanelor.
Întrucât un FOUP încărcat complet cu 25 de napolitane poate cântări până la 9 kilograme, transportul său trebuie să se bazeze pe un Sistem Automat de Manipulare a Materialelor (AMHS). Pentru a facilita acest lucru, FOUP este proiectat cu diverse combinații de plăci de cuplare, pini și găuri și este echipat cu etichete electronice RFID pentru o identificare și clasificare ușoară. Această manipulare automată nu necesită aproape nicio operațiune manuală, reducând considerabil ratele de eroare și sporind siguranța și precizia procesului de fabricație.
2. Structura și clasificarea FOUP
Dimensiunile tipice ale unui FOUP sunt de aproximativ 420 mm lățime, 335 mm adâncime și 335 mm înălțime. Principalele sale componente structurale includ: un OHT (cap de ciupercă) superior pentru transportul palanului suspendat; o ușă frontală pentru accesul la napolitanele echipamentului; mânere laterale, adesea codificate prin culori pentru a distinge zonele de proces cu diferite niveluri de contaminare; o zonă pentru carduri pentru plasarea cardurilor cu mesaje; și o etichetă RFID inferioară care servește drept identificator unic pentru FOUP, permițând sculelor și palanelor suspendate să îl recunoască. Baza este, de asemenea, echipată cu patru orificii de identificare și poziționare pentru potrivirea cu sculele și distingerea zonelor de proces.
Pe baza utilizării, FOUP-urile sunt clasificate în trei tipuri: PRD (pentru producție), ENG (pentru napolitane inginerești) și MON (pentru napolitane de monitorizare). FOUP-urile PRD pot fi utilizate pentru fabricarea produselor, tipurile ENG sunt potrivite pentru cercetare și dezvoltare sau experimente, iar tipurile MON sunt dedicate monitorizării proceselor pentru etape precum CMP și DIFF. Este important de reținut că FOUP-urile PRD pot fi utilizate atât în scopuri ENG, cât și MON, iar tipurile ENG pot fi utilizate pentru MON, dar operațiunea inversă prezintă riscuri legate de calitate.
Clasificate după nivelul de contaminare, FOUP-urile pot fi împărțite în FE FOUP (proces frontal, fără metal), BE FOUP (proces posterior, conține metal) și cele specializate pentru procese metalice specifice, cum ar fi NI FOUP, CU FOUP și CO FOUP. FOUP-urile pentru diferite procese se disting de obicei prin culoarea mânerelor laterale sau a panourilor ușilor. FOUP-urile din procesele frontale pot fi utilizate în procesele posteriore, dar FOUP-urile din procesele posteriore nu trebuie niciodată utilizate în procesele frontale, deoarece acest lucru ar cauza riscuri de contaminare.
Ca operator cheie în fabricarea semiconductorilor, FOUP, prin automatizare avansată și control strict al contaminării, asigură siguranța și curățenia napolitanelor în timpul procesului de producție, ceea ce o face o infrastructură indispensabilă în fabricile moderne de napolitane.
Concluzie
XKH se angajează să ofere clienților soluții personalizate de tip Front-Opening Unified Pod (FOUP), respectând cu strictețe cerințele specifice ale procesului și specificațiile interfeței echipamentului. Utilizând tehnologia avansată a materialelor și procesele de fabricație de precizie, ne asigurăm că fiecare produs FOUP oferă etanșeitate, curățenie și stabilitate mecanică excepționale. Echipa noastră tehnică posedă o vastă expertiză în industrie, oferind asistență completă pe parcursul ciclului de viață - de la consultanță în selecție și optimizare structurală până la curățare și întreținere - asigurând o integrare perfectă și o colaborare eficientă între FOUP și Sistemul Automat de Manipulare a Materialelor (AMHS), precum și echipamentele de procesare. Prioritizăm în mod constant siguranța napolitanelor și îmbunătățirea randamentului producției ca obiective principale. Prin produse inovatoare și servicii tehnice complete, oferim o garanție robustă pentru procesele dumneavoastră de fabricație a semiconductorilor, sporind în cele din urmă eficiența producției și randamentul produsului.
Data publicării: 08 septembrie 2025