Substratul cu carbură de siliciu este împărțit în tip semi-izolant și tip conductiv. În prezent, specificația generală a produselor semi-izolate cu substrat din carbură de siliciu este de 4 inci. Pe piața de carbură de siliciu conductivă, specificația curentă a substratului principal este de 6 inci.
Datorită aplicațiilor din aval în domeniul RF, substraturile SiC semiizolate și materialele epitaxiale sunt supuse controlului exportului de către Departamentul de Comerț al SUA. SiC semi-izolat ca substrat este materialul preferat pentru heteroepitaxia GaN și are perspective importante de aplicare în domeniul microundelor. În comparație cu nepotrivirea cristalelor din safir 14% și Si 16,9%, nepotrivirea cristalelor din materialele SiC și GaN este de numai 3,4%. Împreună cu conductivitatea termică ultra-înaltă a SiC, dispozitivele de înaltă eficiență energetică LED și GaN cu frecvență înaltă și cu microunde de mare putere pregătite de acesta au avantaje mari în radar, echipamente cu microunde de mare putere și sisteme de comunicație 5G.
Cercetarea și dezvoltarea substratului SiC semi-izolat a fost întotdeauna în centrul cercetării și dezvoltării substratului monocristal SiC. Există două dificultăți principale în creșterea materialelor SiC semiizolate:
1) Reducerea impurităților donor de N introduse prin creuzetul de grafit, adsorbția izolației termice și dopajul în pulbere;
2) În același timp, asigurând calitatea și proprietățile electrice ale cristalului, este introdus un centru de nivel adânc pentru a compensa impuritățile reziduale de nivel superficial cu activitate electrică.
În prezent, producătorii cu capacitate de producție SiC semi-izolată sunt în principal SICC Co，Semisic Crystal Co，Tanke Blue Co, Hebei Synlight Crystal Co., Ltd.
Cristalul conductiv de SiC este obținut prin injectarea de azot în atmosfera în creștere. Substratul conductiv de carbură de siliciu este utilizat în principal la fabricarea dispozitivelor de putere, dispozitive de putere cu carbură de siliciu cu tensiune înaltă, curent ridicat, temperatură ridicată, frecvență înaltă, pierderi reduse și alte avantaje unice, va îmbunătăți considerabil utilizarea existentă a dispozitivelor de putere pe bază de siliciu. eficiența conversiei, are un impact semnificativ și de anvergură asupra domeniului conversiei eficiente a energiei. Principalele domenii de aplicare sunt vehiculele electrice/pilele de încărcare, energia nouă fotovoltaică, tranzitul feroviar, rețeaua inteligentă și așa mai departe. Deoarece în aval de produse conductoare sunt în principal dispozitive de alimentare în vehicule electrice, fotovoltaice și alte domenii, perspectiva de aplicare este mai largă, iar producătorii sunt mai numeroși.
Tip de cristal de carbură de siliciu: Structura tipică a celei mai bune carburi de siliciu cristalin 4H poate fi împărțită în două categorii, una este tipul de cristal de carbură de siliciu cubică de structură de sfalerit, cunoscut sub numele de 3C-SiC sau β-SiC, iar cealaltă este hexagonală sau structura de diamant a structurii perioadei mari, care este tipică pentru 6H-SiC, 4H-sic, 15R-SiC etc., cunoscută colectiv ca α-SiC. 3C-SiC are avantajul unei rezistivitati ridicate în fabricarea dispozitivelor. Cu toate acestea, nepotrivirea mare dintre constantele rețelei Si și SiC și coeficienții de dilatare termică pot duce la un număr mare de defecte în stratul epitaxial 3C-SiC. 4H-SiC are un potențial mare în fabricarea MOSFET-urilor, deoarece procesele sale de creștere a cristalelor și a stratului epitaxial sunt mai excelente, iar în ceea ce privește mobilitatea electronilor, 4H-SiC este mai mare decât 3C-SiC și 6H-SiC, oferind caracteristici mai bune de microunde pentru 4H. -MOSFET-uri SiC.
Dacă există o încălcare, contactați ștergeți
Ora postării: Iul-16-2024