Furnizare constantă pe termen lung de SiC de 8 inci (aviz)

În prezent, compania noastră poate continua să furnizeze loturi mici de napolitane SiC de tip 8 inchN. Dacă aveți nevoie de mostre, vă rugăm să nu ezitați să mă contactați. Avem câteva mostre de napolitane gata de expediere.

Furnizare constantă pe termen lung de SiC de 8 inci (aviz)
Furnizare constantă pe termen lung de SiC de 8 inci (aviz)1

În domeniul materialelor semiconductoare, compania a realizat un progres major în cercetarea și dezvoltarea cristalelor de SiC de dimensiuni mari. Prin utilizarea propriilor cristale de însămânțare după multiple runde de mărire a diametrului, compania a reușit să obțină cristale de SiC de tip N de 8 inci, ceea ce rezolvă probleme dificile precum câmpul de temperatură inegal, fisurarea cristalelor și distribuția materiilor prime în fază gazoasă în procesul de creștere a cristalelor SIC de 8 inci și accelerează creșterea cristalelor SIC de dimensiuni mari și tehnologia de procesare autonomă și controlabilă. Acest lucru sporește considerabil competitivitatea de bază a companiei în industria substraturilor monocristaline de SiC. În același timp, compania promovează activ acumularea de tehnologie și procese pentru linia experimentală de preparare a substraturilor de carbură de siliciu de dimensiuni mari, consolidează schimbul tehnic și colaborarea industrială în domeniile din amonte și din aval și colaborează cu clienții pentru a itera constant performanța produsului și promovează împreună ritmul aplicării industriale a materialelor din carbură de siliciu.

Specificații DSP SiC de tip N de 8 inch

Număr Articol Unitate Producție Cercetare Manechin
1. Parametri
1.1 politip -- 4H 4H 4H
1.2 orientarea suprafeței ° <11-20>4±0,5 <11-20>4±0,5 <11-20>4±0,5
2. Parametrul electric
2.1 dopant -- azot de tip n azot de tip n azot de tip n
2.2 rezistivitate ohm ·cm 0,015~0,025 0,01~0,03 NA
3. Parametru mecanic
3.1 diametru mm 200±0,2 200±0,2 200±0,2
3.2 grosime μm 500±25 500±25 500±25
3.3 Orientarea crestăturii ° [1-100]±5 [1-100]±5 [1-100]±5
3.4 Adâncimea crestăturii mm 1~1,5 1~1,5 1~1,5
3.5 Valoarea clientului (LTV) μm ≤5 (10 mm * 10 mm) ≤5 (10 mm * 10 mm) ≤10 (10 mm * 10 mm)
3.6 TTV μm ≤10 ≤10 ≤15
3.7 Arc μm -25~25 -45~45 -65~65
3.8 Urzeală μm ≤30 ≤50 ≤70
3.9 AFM nm Ra≤0,2 Ra≤0,2 Ra≤0,2
4. Structură
4.1 densitatea microțevilor ea/cm2 ≤2 ≤10 ≤50
4.2 conținut de metale atomi/cm2 ≤1E11 ≤1E11 NA
4.3 TSD ea/cm2 ≤500 ≤1000 NA
4.4 BPD ea/cm2 ≤2000 ≤5000 NA
4.5 TED ea/cm2 ≤7000 ≤10000 NA
5. Calitate pozitivă
5.1 faţă -- Si Si Si
5.2 finisajul suprafeței -- CMP Si-face CMP Si-face CMP Si-face
5.3 particulă napolitană ≤100 (dimensiune ≥0,3 μm) NA NA
5.4 zgâria napolitană Lungime totală ≤5, ≤200 mm NA NA
5.5 Margine
ciobiri/indentări/crăpături/pete/contaminare
-- Nici unul Nici unul NA
5.6 Zone politipe -- Nici unul Suprafață ≤10% Suprafață ≤30%
5.7 marcaj frontal -- Nici unul Nici unul Nici unul
6. Calitatea spatelui
6.1 finisaj spate -- C-face MP C-face MP C-face MP
6.2 zgâria mm NA NA NA
6.3 Marginea defectelor din spate
ciobituri/indentări
-- Nici unul Nici unul NA
6.4 Rugozitatea spatelui nm Ra≤5 Ra≤5 Ra≤5
6,5 Marcaj spate -- Crestătură Crestătură Crestătură
7. Margine
7.1 margine -- Teșitură Teșitură Teșitură
8. Pachet
8.1 ambalaj -- Epi-ready cu vid
ambalaj
Epi-ready cu vid
ambalaj
Epi-ready cu vid
ambalaj
8.2 ambalaj -- Multi-plafon
ambalare casetă
Multi-plafon
ambalare casetă
Multi-plafon
ambalare casetă

Data publicării: 18 aprilie 2023