tip p 4H/6H-P 3C-N TIP SIC substrat 4inch 〈111〉± 0,5°Zero MPD
4H/6H-P Tip SiC Substraturi compozite Tabel de parametri comuni
4 siliciu cu diametrul inchSubstrat de carbură (SiC). Caietul de sarcini
Nota | Producție MPD zero Nota (Z nota) | Producție standard Nota (pag nota) | Grad de manechin (D nota) | ||
Diametru | 99,5 mm~100,0 mm | ||||
Grosime | 350 μm ± 25 μm | ||||
Orientare napolitană | În afara axei: 2,0°-4,0° spre [1120] ± 0,5° pentru 4H/6H-P, OAxa n:〈111〉± 0,5° pentru 3C-N | ||||
Densitatea microconductelor | 0 cm-2 | ||||
Rezistivitate | tip p 4H/6H-P | ≤0,1 Ωꞏcm | ≤0,3 Ωꞏcm | ||
de tip n 3C-N | ≤0,8 mΩꞏcm | ≤1 m Ωꞏcm | |||
Orientare plată primară | 4H/6H-P | - {1010} ± 5,0° | |||
3C-N | - {110} ± 5,0° | ||||
Lungime plată primară | 32,5 mm ± 2,0 mm | ||||
Lungime plată secundară | 18,0 mm ± 2,0 mm | ||||
Orientare plată secundară | Siliciu cu fața în sus: 90° CW. din Prime flat±5,0° | ||||
Excluderea marginilor | 3 mm | 6 mm | |||
LTV/TTV/Bow/Warp | ≤2,5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||
Rugozitate | Poloneză Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0,2 nm | Ra≤0,5 nm | ||||
Fisuri de margine prin lumină de înaltă intensitate | Nici unul | Lungime cumulată ≤ 10 mm, lungime unică≤ 2 mm | |||
Plăci hexagonale prin lumină de înaltă intensitate | Suprafața cumulativă ≤0,05% | Suprafața cumulativă ≤0,1% | |||
Zone de politip prin lumină de înaltă intensitate | Nici unul | Suprafata cumulata≤3% | |||
Includeri vizuale de carbon | Suprafața cumulativă ≤0,05% | Suprafața cumulativă ≤3% | |||
Zgârieturi de suprafață de silicon de la lumină de înaltă intensitate | Nici unul | Lungimea cumulativă≤1×diametrul plachetei | |||
Așchii de margine ridicate prin intensitate luminii | Niciunul nu este permis ≥0,2 mm lățime și adâncime | 5 permise, ≤1 mm fiecare | |||
Contaminarea suprafeței cu siliciu prin intensitate ridicată | Nici unul | ||||
Ambalare | Casetă cu mai multe napolitane sau container cu o singură napolitană |
Note:
※Limitele defectelor se aplică pe întreaga suprafață a plachetei, cu excepția zonei de excludere a marginilor. # Zgârieturile trebuie verificate numai pe fața Si.
Substratul SiC de tip P 4H/6H-P 3C-N de 4 inci cu orientare 〈111〉± 0,5° și gradul Zero MPD este utilizat pe scară largă în aplicații electronice de înaltă performanță. Conductivitatea sa termică excelentă și tensiunea mare de avarie îl fac ideal pentru electronica de putere, cum ar fi întrerupătoarele de înaltă tensiune, invertoarele și convertoarele de putere, care funcționează în condiții extreme. În plus, rezistența substratului la temperaturi ridicate și la coroziune asigură o performanță stabilă în medii dure. Orientarea precisă 〈111〉± 0,5° îmbunătățește acuratețea producției, făcându-l potrivit pentru dispozitive RF și aplicații de înaltă frecvență, cum ar fi sistemele radar și echipamentele de comunicație fără fir.
Avantajele substraturilor compozite SiC de tip N includ:
1. Conductivitate termică ridicată: disipare eficientă a căldurii, făcându-l potrivit pentru medii cu temperaturi ridicate și aplicații de mare putere.
2. Tensiune ridicată de întrerupere: asigură performanță fiabilă în aplicații de înaltă tensiune, cum ar fi convertoarele de putere și invertoarele.
3. Grad Zero MPD (Micro Pipe Defect): Garantează defecte minime, oferind stabilitate și fiabilitate ridicată în dispozitivele electronice critice.
4. Rezistenta la coroziune: Durabil in medii dure, asigurand functionalitate pe termen lung in conditii solicitante.
5. Orientare precisă 〈111〉± 0,5°: Permite o aliniere precisă în timpul producției, îmbunătățind performanța dispozitivului în aplicații de înaltă frecvență și RF.
În general, substratul SiC de tip P 4H/6H-P 3C-N de 4 inci cu orientare 〈111〉± 0,5° și gradul Zero MPD este un material de înaltă performanță ideal pentru aplicații electronice avansate. Conductivitatea sa termică excelentă și tensiunea mare de avarie îl fac perfect pentru electronice de putere, cum ar fi comutatoarele de înaltă tensiune, invertoarele și convertoarele. Gradul Zero MPD asigură defecte minime, oferind fiabilitate și stabilitate în dispozitivele critice. În plus, rezistența substratului la coroziune și la temperaturi ridicate asigură durabilitatea în medii dure. Orientarea precisă 〈111〉± 0,5° permite o aliniere precisă în timpul producției, făcându-l foarte potrivit pentru dispozitive RF și aplicații de înaltă frecvență.