Placă SiC de tip P 4H/6H-P 3C-N, grosime 6 inci, 350 μm, cu orientare plată primară
Tabel cu parametri comuni pentru substraturi compozite SiC de tip 4H/6H-P
6 substrat de carbură de siliciu (SiC) cu diametrul de inch Specificații
Grad | Producție zero MPDGrad (Z) Grad) | Producție standardGrad (P) Grad) | Grad fictiv (D Grad) | ||
Diametru | 145,5 mm~150,0 mm | ||||
Grosime | 350 μm ± 25 μm | ||||
Orientarea plachetei | -Offaxă: 2,0°-4,0° către [1120] ± 0,5° pentru 4H/6H-P, Pe axă: 〈111〉± 0,5° pentru 3C-N | ||||
Densitatea microțevilor | 0 cm-2 | ||||
Rezistență | tip p 4H/6H-P | ≤0,1 Ωcm | ≤0,3 Ωcm | ||
tip n 3C-N | ≤0,8 mΩ·cm | ≤1 m Ωcm | |||
Orientare principală plată | 4H/6H-P | -{1010} ± 5,0° | |||
3C-N | -{110} ± 5,0° | ||||
Lungime plată principală | 32,5 mm ± 2,0 mm | ||||
Lungime plată secundară | 18,0 mm ± 2,0 mm | ||||
Orientare secundară plată | Fața cu silicon în sus: 90° în sensul acelor de ceasornic față de suprafața plată Prime ± 5,0° | ||||
Excluderea marginilor | 3 mm | 6 mm | |||
LTV/TTV/Arc/Urzeală | ≤2,5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||
Rugozitate | Ra ≤ 1 nm pentru polish | ||||
CMP Ra≤0,2 nm | Ra≤0,5 nm | ||||
Crăpături pe margini cauzate de lumină de intensitate mare | Nici unul | Lungime cumulată ≤ 10 mm, lungime unică ≤ 2 mm | |||
Plăci hexagonale prin lumină de înaltă intensitate | Suprafață cumulată ≤0,05% | Suprafață cumulată ≤0,1% | |||
Zone politipe prin lumină de intensitate mare | Nici unul | Suprafață cumulată ≤3% | |||
Incluziuni vizuale de carbon | Suprafață cumulată ≤0,05% | Suprafață cumulată ≤3% | |||
Zgârieturi pe suprafața de siliciu cauzate de lumină de intensitate mare | Nici unul | Lungime cumulată ≤ 1 × diametrul plachetei | |||
Cipuri de margine de înaltă intensitate prin lumină | Niciuna permisă lățime și adâncime ≥0,2 mm | 5 permise, ≤1 mm fiecare | |||
Contaminarea suprafeței cu siliciu prin intensitate ridicată | Nici unul | ||||
Ambalaj | Casetă cu mai multe napolitane sau recipient cu o singură napolitană |
Note:
※ Limitele de defecte se aplică întregii suprafețe a plachetei, cu excepția zonei de excludere a marginii. # Zgârieturile trebuie verificate pe fața Si.
Placheta SiC de tip P, 4H/6H-P 3C-N, cu dimensiunea sa de 6 inci și grosimea de 350 μm, joacă un rol crucial în producția industrială de electronică de putere de înaltă performanță. Conductivitatea sa termică excelentă și tensiunea de străpungere ridicată o fac ideală pentru fabricarea de componente precum întrerupătoare de putere, diode și tranzistoare utilizate în medii cu temperaturi ridicate, cum ar fi vehiculele electrice, rețelele electrice și sistemele de energie regenerabilă. Capacitatea plachetei de a funcționa eficient în condiții dure asigură performanțe fiabile în aplicații industriale care necesită densitate mare de putere și eficiență energetică. În plus, orientarea sa principală plată ajută la alinierea precisă în timpul fabricării dispozitivului, sporind eficiența producției și consecvența produsului.
Avantajele substraturilor compozite SiC de tip N includ
- Conductivitate termică ridicatăNapolitanele SiC de tip P disipă eficient căldura, fiind ideale pentru aplicații la temperaturi ridicate.
- Tensiune de străpungere ridicatăCapabil să reziste la tensiuni ridicate, asigurând fiabilitatea în electronica de putere și dispozitivele de înaltă tensiune.
- Rezistență la medii dureDurabilitate excelentă în condiții extreme, cum ar fi temperaturi ridicate și medii corozive.
- Conversie eficientă a puteriiDopajul de tip P facilitează o gestionare eficientă a puterii, făcând placheta potrivită pentru sistemele de conversie a energiei.
- Orientare principală platăAsigură o aliniere precisă în timpul fabricației, îmbunătățind acuratețea și consecvența dispozitivului.
- Structură subțire (350 μm)Grosimea optimă a plachetei permite integrarea în dispozitive electronice avansate, cu spațiu limitat.
Per total, placheta SiC de tip P, 4H/6H-P 3C-N, oferă o serie de avantaje care o fac foarte potrivită pentru aplicații industriale și electronice. Conductivitatea termică ridicată și tensiunea de străpungere permit o funcționare fiabilă în medii cu temperaturi ridicate și tensiune înaltă, în timp ce rezistența sa la condiții dure asigură durabilitatea. Dopajul de tip P permite o conversie eficientă a puterii, fiind ideală pentru electronica de putere și sistemele energetice. În plus, orientarea plată primară a plachetei asigură o aliniere precisă în timpul procesului de fabricație, sporind consecvența producției. Cu o grosime de 350 μm, este potrivită pentru integrarea în dispozitive avansate și compacte.
Diagramă detaliată

