Sapphire Tube tije de safir formă specială de înaltă presiune KY și EFG
Descriere
Tijele de safir sunt utilizate într-o gamă largă de aplicații. O tijă de safir poate fi realizată cu toate suprafețele lustruite pentru aplicații optice și de uzură sau cu toate suprafețele șlefuite fin (nelustruite) pentru a servi ca izolator.
Tehnologie
În timpul procesului de tragere a tuburilor de safir dintr-o topitură cu ajutorul unei semințe, gradientul de temperatură longitudinal în zona dintre frontul solidificat și regiunea de tragere unde temperatura este între 1850 și 1900 de grade. C se menține nu mai mult de 30 de grade. C/cm. Tubul astfel crescut este recoacet la o temperatură între 1950 și 2000 de grade. C prin creșterea temperaturii cu o rată de 30 până la 40 de grade. C/min și menținerea tubului la temperatura menționată pe o perioadă cuprinsă între 3 și 4 ore. După aceea, tubul este răcit la temperatura camerei cu o rată de 30-40 de grade. C/min.
Aplicații de procesare a semiconductorilor:
(HPD CVD, PECVD, Etch uscat, Etch umed)
Tub aplicator plasma
Duze injectoare de gaz de proces
Detector de punct final
Tuburi corona excimer
Tuburi de reținere pentru plasmă
Mașina de etanșare a tuburilor cu plasmă este un dispozitiv utilizat pentru încapsularea componentelor electronice. Principiul său este de a utiliza temperatura ridicată și presiunea ridicată a plasmei pentru a topi materialul de ambalare și a-l încapsula pe componentă. Principalele componente ale mașinii de etanșare a tuburilor cu plasmă includ generatorul de plasmă, camera de etanșare a tuburilor, sistemul de vid, sistemul de control etc.
Înveliș de protecție pentru termocuplu (Thermowell): Termocuplul este un element de măsurare a temperaturii utilizat în mod obișnuit în instrumentul de măsurare a temperaturii, măsoară direct temperatura și transformă semnalul de temperatură în semnal de forță electromotoare termoelectrică, prin instrumentul electric (instrument secundar) în temperatura mediu măsurat
Tratarea/curățarea apei
Proprietățile tubului de safir (teoretice)
Formula compusă | Al2O3 |
Greutate moleculară | 101,96 |
Aspect | Tuburi translucide |
Punct de topire | 2050 °C (3720 °F) |
Punct de fierbere | 2.977° C (5.391° F) |
Densitate | 4,0 g/cm3 |
Morfologie | Trigonal (hex), R3c |
Solubilitate în H2O | 98 x 10-6 g/100g |
Indicele de refracție | 1.8 |
Rezistivitate electrică | 17 10x Ω-m |
Raportul lui Poisson | 0,28 |
Căldura specifică | 760 J Kg-1 K-1 (293K) |
Rezistență la tracțiune | 1390 MPa (Ultimă) |
Conductivitate termică | 30 W/mK |
Expansiune termică | 5,3 um/mK |
Modulul lui Young | 450 GPa |
Masa exactă | 101,948 g/mol |
Masa monoizotopică | 101,94782 Da |