Metoda KY și EFG Sapphire Tube, tije de safir, țeavă de înaltă presiune
Descriere
Tijele de safir sunt utilizate într-o gamă largă de aplicații. O tijă de safir poate fi realizată cu toate suprafețele lustruite pentru aplicații optice și de uzură sau cu toate suprafețele șlefuite fin (neșlefuite) pentru a servi ca izolator.
Tehnologie
În timpul procesului de extragere a tuburilor de safir dintr-o topitură cu ajutorul unei semințe, gradientul longitudinal de temperatură în zona dintre frontul solidificat și regiunea de extragere, unde temperatura este între 1850 și 1900 grade C, este menținut la o valoare care nu depășește 30 grade C/cm. Tubul astfel crescut este recopt la o temperatură între 1950 și 2000 grade C prin creșterea temperaturii cu o rată de 30 până la 40 grade C/min și menținerea tubului la temperatura respectivă pe o perioadă între 3 și 4 ore. După aceea, tubul este răcit la temperatura camerei cu o rată de 30-40 grade C/min.
Aplicații de procesare a semiconductorilor
(HPD CVD, PECVD, gravare uscată, gravare umedă).
Tub aplicator de plasmă.
Duze de injectoare de gaz de proces.
Detector de punct final.
Tuburi Corona cu excimer.
Tuburi de izolare a plasmei
Mașina de sigilare a tuburilor cu plasmă este un dispozitiv utilizat pentru încapsularea componentelor electronice. Principiul său este de a utiliza temperatura și presiunea ridicată a plasmei pentru a topi materialul de ambalare și a-l încapsula pe componentă. Componentele principale ale mașinii de sigilare a tuburilor cu plasmă includ generatorul de plasmă, camera de sigilare a tuburilor, sistemul de vid, sistemul de control etc.
Teacă de protecție pentru termocuplu (termoteac)
Termocuplul este un element de măsurare a temperaturii utilizat în mod obișnuit în instrumentele de măsurare a temperaturii. Acesta măsoară direct temperatura și transformă semnalul de temperatură în semnal termoelectric de forță electromotoare, iar prin intermediul instrumentului electric (instrument secundar) în temperatura mediului măsurat.
Tratarea/curățarea apei
Proprietățile tubului de safir (teoretice)
| Formula compusă | Al₂O₃ |
| Greutate moleculară | 101,96 |
| Aspect | Tuburi translucide |
| Punct de topire | 2050 °C (3720 °F) |
| Punct de fierbere | 2.977° C (5.391° F) |
| Densitate | 4,0 g/cm3 |
| Morfologie | Trigonal (hexagonal), R3c |
| Solubilitate în H2O | 98 x 10-6 g/100 g |
| Indicele de refracție | 1.8 |
| Rezistență electrică | 17 10x Ω-m |
| Raportul lui Poisson | 0,28 |
| Căldură specifică | 760 J kg-1 K-1 (293K) |
| Rezistență la tracțiune | 1390 MPa (Ultimate) |
| Conductivitate termică | 30 W/mK |
| Expansiune termică | 5,3 µm/mK |
| Modulul lui Young | 450 GPa |
| Masă exactă | 101,948 g/mol |
| Masă monoizotopică | 101.94782 Da |
Diagramă detaliată
