Braț efector final ceramic SiC pentru transportul napolitanelor

Braț de manipulare efector final ceramic SiC pentru transportul de napolitane Imagine prezentată

Scurtă descriere:

Napolitanele LiNbO₃ reprezintă standardul de aur în fotonica integrată și acustica de precizie, oferind performanțe de neegalat în sistemele optoelectronice moderne. În calitate de producător de top, am perfecționat arta producerii acestor substraturi proiectate prin tehnici avansate de echilibrare a transportului de vapori, atingând o perfecțiune cristalină de top în industrie, cu densități de defecte sub 50/cm².

Capacitățile de producție XKH acoperă diametre de la 75 mm la 150 mm, cu control precis al orientării (tăiere X/Y/Z ±0,3°) și opțiuni specializate de dopare, inclusiv elemente din pământuri rare. Combinația unică de proprietăți ale napolitanelor LiNbO₃ - inclusiv coeficientul lor remarcabil r₃₃ (32±2 pm/V) și transparența largă de la UV apropiat la IR mediu - le face indispensabile pentru circuitele fotonice de generație următoare și dispozitivele acustice de înaltă frecvență.

Trimiteți-ne un e-mail

Caracteristici

Efector final ceramic SiC Rezumat

Efectorul final ceramic din SiC (carbură de siliciu) este o componentă esențială în sistemele de manipulare a napolitanelor de înaltă precizie utilizate în fabricarea semiconductorilor și în mediile avansate de microfabricare. Proiectat pentru a îndeplini cerințele exigente ale mediilor ultra-curate, la temperaturi ridicate și cu o stabilitate ridicată, acest efector final specializat asigură transportul fiabil și fără contaminare al napolitanelor în timpul etapelor cheie de producție, cum ar fi litografia, gravarea și depunerea.

Valorificând proprietățile superioare ale materialului carburii de siliciu - cum ar fi conductivitatea termică ridicată, duritatea extremă, inerția chimică excelentă și expansiunea termică minimă - efectorul final ceramic SiC oferă o rigiditate mecanică și o stabilitate dimensională de neegalat, chiar și în condiții de cicluri termice rapide sau în camere de proces corozive. Generarea redusă de particule și caracteristicile de rezistență la plasmă îl fac deosebit de potrivit pentru aplicațiile de procesare în camere curate și în vid, unde menținerea integrității suprafeței plachetei și reducerea contaminării cu particule sunt primordiale.

Aplicație efector final ceramic SiC

1. Manipularea plachetelor semiconductoare

Efectorii finali ceramici din SiC sunt utilizați pe scară largă în industria semiconductorilor pentru manipularea napolitanelor de siliciu în timpul producției automate. Acești efectori finali sunt de obicei montați pe brațe robotizate sau sisteme de transfer în vid și sunt proiectați pentru a găzdui napolitane de diferite dimensiuni, cum ar fi 200 mm și 300 mm. Sunt esențiali în procese precum depunerea chimică din vapori (CVD), depunerea fizică din vapori (PVD), gravarea și difuzia - unde temperaturile ridicate, condițiile de vid și gazele corozive sunt frecvente. Rezistența termică excepțională și stabilitatea chimică a SiC îl fac un material ideal pentru a rezista la astfel de medii dure fără degradare.

2. Compatibilitate cu camerele sterile și aspiratorul

În camerele sterile și în vid, unde contaminarea cu particule trebuie redusă la minimum, ceramica SiC oferă avantaje semnificative. Suprafața densă și netedă a materialului rezistă generării de particule, ajutând la menținerea integrității plachetei în timpul transportului. Acest lucru face ca efectorii finali SiC să fie deosebit de potriviți pentru procese critice, cum ar fi litografia ultravioletă extremă (EUV) și depunerea de straturi atomice (ALD), unde curățenia este crucială. În plus, degazarea redusă a SiC și rezistența ridicată la plasmă asigură performanțe fiabile în camerele de vid, prelungind durata de viață a sculelor și reducând frecvența întreținerii.

3. Sisteme de poziționare de înaltă precizie

Precizia și stabilitatea sunt vitale în sistemele avansate de manipulare a napolitanelor, în special în echipamentele de metrologie, inspecție și aliniere. Ceramica SiC are un coeficient de dilatare termică extrem de scăzut și o rigiditate ridicată, ceea ce permite efectorului final să își mențină precizia structurală chiar și sub cicluri termice sau sarcină mecanică. Acest lucru asigură că napolitanele rămân precis aliniate în timpul transportului, reducând la minimum riscul de micro-zgârieturi, nealiniere sau erori de măsurare - factori din ce în ce mai critici la nodurile de proces sub 5nm.

Proprietățile efectorului final ceramic SiC

1. Rezistență mecanică și duritate ridicate

Ceramica SiC posedă o rezistență mecanică excepțională, cu o rezistență la încovoiere care depășește adesea 400 MPa și valori ale durității Vickers peste 2000 HV. Acest lucru le face extrem de rezistente la solicitări mecanice, impact și uzură, chiar și după o utilizare prelungită. Rigiditatea ridicată a SiC minimizează, de asemenea, deformarea în timpul transferurilor de plachete de mare viteză, asigurând o poziționare precisă și repetabilă.

2. Stabilitate termică excelentă

Una dintre cele mai valoroase proprietăți ale ceramicii de SiC este capacitatea lor de a rezista la temperaturi extrem de ridicate - adesea până la 1600°C în atmosfere inerte - fără a-și pierde integritatea mecanică. Coeficientul lor scăzut de dilatare termică (~4,0 x 10⁻⁶ /K) asigură stabilitatea dimensională în timpul ciclurilor termice, ceea ce le face ideale pentru aplicații precum CVD, PVD și recoacere la temperatură înaltă.

Întrebări și răspunsuri despre efectorul final ceramic SiC

Î: Ce material este utilizat în efectorul final al plachetei?

O:Efectoarele terminale ale napolitanelor sunt de obicei fabricate din materiale care oferă rezistență ridicată, stabilitate termică și generare redusă de particule. Printre acestea, ceramica de carbură de siliciu (SiC) este unul dintre cele mai avansate și preferate materiale. Ceramica de SiC este extrem de dură, stabilă termic, inertă chimic și rezistentă la uzură, ceea ce o face ideală pentru manipularea napolitanelor de siliciu delicate în medii cu cameră curată și în vid. Comparativ cu cuarțul sau metalele acoperite, SiC oferă o stabilitate dimensională superioară la temperaturi ridicate și nu elimină particule, ceea ce ajută la prevenirea contaminării.