Braț furcă ceramică SiC / efector final – Manipulare avansată de precizie pentru fabricarea semiconductorilor

Scurtă descriere:

Brațul furcă ceramic SiC, adesea denumit efector final ceramic, este o componentă de manipulare de precizie de înaltă performanță, dezvoltată special pentru transportul, alinierea și poziționarea plachetelor în industriile de înaltă tehnologie, în special în producția de semiconductori și fotovoltaici. Fabricată folosind ceramică de carbură de siliciu de înaltă puritate, această componentă combină o rezistență mecanică excepțională, o dilatare termică ultra-scăzută și o rezistență superioară la șocuri termice și coroziune.

Trimiteți-ne un e-mail

Caracteristici

Diagramă detaliată

Prezentare generală a produsului

Spre deosebire de efectorii finali tradiționali fabricați din aluminiu, oțel inoxidabil sau chiar cuarț, efectorii finali ceramici SiC oferă performanțe de neegalat în camerele de vid, camerele sterile și mediile de procesare dure, ceea ce îi face o parte cheie a roboților de manipulare a napolitanelor de generație următoare. Având în vedere cererea tot mai mare de producție fără contaminare și toleranțe mai stricte în fabricarea cipurilor, utilizarea efectorilor finali ceramici devine rapid standardul industriei.

Principiul de fabricație

FabricareaEfectoare finale ceramice SiCimplică o serie de procese de înaltă precizie și puritate ridicată care asigură atât performanța, cât și durabilitatea. De obicei, se utilizează două procese principale:

Carbură de siliciu legată prin reacție (RB-SiC)

În acest proces, o preformă realizată din pulbere de carbură de siliciu și liant este infiltrată cu siliciu topit la temperaturi ridicate (~1500°C), care reacționează cu carbonul rezidual pentru a forma un compozit SiC-Si dens și rigid. Această metodă oferă un control dimensional excelent și este rentabilă pentru producția la scară largă.

Carbură de siliciu sinterizată fără presiune (SSiC)

SSiC este obținut prin sinterizarea pulberii de SiC ultrafine și de înaltă puritate la temperaturi extrem de ridicate (>2000°C), fără utilizarea de aditivi sau o fază liantă. Rezultatul este un produs cu o densitate de aproape 100% și cele mai ridicate proprietăți mecanice și termice disponibile printre materialele SiC. Este ideal pentru aplicații ultracritice de manipulare a napolitanelor.

Post-procesare

Prelucrare CNC de precizieObține o planitate și un paralelism ridicate.
Finisarea suprafețelorLustruirea cu diamant reduce rugozitatea suprafeței la <0,02 µm.
InspecţieInterferometria optică, CMM și testarea nedistructivă sunt utilizate pentru a verifica fiecare piesă.

Acești pași garantează căEfector final SiCoferă o precizie constantă a plasării napolitanelor, o planaritate excelentă și o generare minimă de particule.

Caracteristici și beneficii cheie

Caracteristică	Descriere
Duritate ultra-ridicată	Duritate Vickers > 2500 HV, rezistentă la uzură și ciobire.
Expansiune termică redusă	CTE ~4,5×10⁻⁶/K, permițând stabilitate dimensională în ciclurile termice.
Inerție chimică	Rezistent la HF, HCl, gaze plasmatice și alți agenți corozivi.
Rezistență excelentă la șocuri termice	Potrivit pentru încălzire/răcire rapidă în sisteme de vid și cuptor.
Rigiditate și rezistență ridicate	Suportă brațe lungi de furcă în consolă fără deformare.
Degazare redusă	Ideal pentru medii în vid ultra-înalt (UHV).
Pregătit pentru camere sterile clasa ISO 1	Funcționarea fără particule asigură integritatea plachetei.

Aplicații

Brațul furcii / efectorul final din ceramică SiC este utilizat pe scară largă în industrii care necesită precizie extremă, curățenie și rezistență chimică. Scenariile cheie de aplicare includ:

Fabricarea semiconductorilor

Încărcarea/descărcarea plachetelor în sisteme de depunere (CVD, PVD), gravare (RIE, DRIE) și curățare.
Transport robotizat de napolitane între FOUP-uri, casete și unelte de proces.
Manipularea la temperaturi ridicate în timpul prelucrării termice sau recoacerii.

Producția de celule fotovoltaice

Transport delicat al napolitanelor de siliciu fragile sau al substraturilor solare în linii automate.

Industria afișajelor cu ecran plat (FPD)

Mutarea panourilor sau substraturilor mari de sticlă în mediile de producție OLED/LCD.

Semiconductori compuși / MEMS

Utilizat în liniile de fabricație GaN, SiC și MEMS, unde controlul contaminării și precizia poziționării sunt cruciale.

Rolul său de efector final este deosebit de important în asigurarea unei manipulări stabile și fără defecte în timpul operațiunilor sensibile.

Capacități de personalizare

Oferim personalizare extinsă pentru a satisface diverse cerințe de echipamente și procese:

Designul furciiAranjamente cu două vârfuri, cu mai multe degete sau pe niveluri separate.
Compatibilitatea dimensiunii napolitaneiDe la napolitane de 2” la 12”.
Interfețe de montareCompatibil cu brațele robotice OEM.
Grosime și toleranțe de suprafațăPlaneitate la nivel de microni și rotunjire a muchiilor disponibile.
Caracteristici antiderapanteTexturi de suprafață sau acoperiri opționale pentru o prindere sigură a plachetelor.

Fiecareefector final ceramiceste proiectat în colaborare cu clienții pentru a asigura o montare precisă cu modificări minime ale sculelor.

Întrebări frecvente (FAQ)

Î1: Cum este SiC mai bun decât cuarțul pentru o aplicație efector final?
A1:Deși cuarțul este utilizat în mod obișnuit pentru puritatea sa, acesta nu are rezistență mecanică și este predispus la rupere sub sarcină sau șocuri termice. SiC oferă rezistență superioară, rezistență la uzură și stabilitate termică, reducând semnificativ riscul de nefuncționare și deteriorare a plachetelor.

Î2: Acest braț furcă ceramic este compatibil cu toate manipulatoarele robotizate de napolitane?
A2:Da, efectoarele noastre finale ceramice sunt compatibile cu majoritatea sistemelor importante de manipulare a napolitanelor și pot fi adaptate modelelor dumneavoastră robotice specifice cu desene inginerești precise.

Î3: Poate gestiona napolitane de 300 mm fără deformare?
A3:Absolut. Rigiditatea ridicată a SiC permite chiar și brațelor furcă subțiri și lungi să susțină în siguranță napolitane de 300 mm, fără a se lăsa sau deforma în timpul mișcării.

Î4: Care este durata de viață tipică a unui efector final ceramic SiC?
A4:Cu o utilizare corectă, un efector final din SiC poate dura de 5 până la 10 ori mai mult decât modelele tradiționale din cuarț sau aluminiu, datorită rezistenței sale excelente la solicitări termice și mecanice.

Î5: Oferiți servicii de înlocuire sau de prototipare rapidă?
A5:Da, oferim servicii de producție rapidă de mostre și înlocuire pe baza desenelor CAD sau a pieselor proiectate invers din echipamente existente.

Despre noi

XKH este specializată în dezvoltarea, producția și vânzarea de sticlă optică specială și materiale cristaline noi, de înaltă tehnologie. Produsele noastre sunt destinate electronicii optice, electronicelor de larg consum și armatei. Oferim componente optice din safir, capace pentru lentile de telefoane mobile, ceramică, LT, SIC din carbură de siliciu, cuarț și napolitane din cristale semiconductoare. Cu expertiză calificată și echipamente de ultimă generație, excelăm în procesarea produselor non-standard, cu scopul de a fi o întreprindere lider în domeniul materialelor optoelectronice de înaltă tehnologie.