Placă ceramică SiC grafit cu acoperire CVD SiC pentru echipamente

Scurtă descriere:

Shanghai Xinkehui New Materials Co., Ltd. produce disc de gravare cu semiconductor de Φ380mm–Φ600mm, disc de rulment pentru napolitană, tavă de carbură de siliciu, tavă SIC, tavă de carbură de siliciu, tavă de gravare ICP, tavă de gravare, puritate din carbură de siliciu > 99,9%, durata de viață a tăvii SIC este de patru ori mai mare decât a tăvii CVD pe bază de grafit, utilizare pe termen lung fără deformare, rezistent la acid FH, coroziune concentrată H2So4.

Trimiteți-ne un e-mail

Detaliu produs

Etichete de produs

Ceramica cu carbură de siliciu nu este utilizată numai în etapa de depunere a filmului subțire, cum ar fi epitaxie sau MOCVD, sau în prelucrarea plachetelor, în centrul căreia tăvile purtător de plachete pentru MOCVD sunt mai întâi supuse mediului de depunere și, prin urmare, sunt foarte rezistente la căldură și coroziune. Purtătorii acoperiți cu SiC au, de asemenea, conductivitate termică ridicată și proprietăți excelente de distribuție termică.

Purtători de napolitane cu depunere chimică prin vapori de carbură de siliciu (CVD SiC) pentru prelucrarea la temperatură înaltă a depunerii chimice în vapori metalice organice (MOCVD).

Purtătorii de plachete CVD SiC puri sunt semnificativ superiori suporturilor de plachete convenționale utilizate în acest proces, care sunt grafit și acoperite cu un strat de SiC CVD. acești purtători acoperiți pe bază de grafit nu pot rezista la temperaturile ridicate (1100 până la 1200 de grade Celsius) necesare pentru depunerea GaN a LED-ului albastru și alb de luminozitate ridicată de astăzi. Temperaturile ridicate fac ca stratul de acoperire să dezvolte găuri minuscule prin care substanțele chimice de proces erodează grafitul de dedesubt. Particulele de grafit se desprind apoi și contaminează GaN, determinând înlocuirea suportului de plachetă acoperit.

CVD SiC are o puritate de 99,999% sau mai mult și are o conductivitate termică ridicată și rezistență la șoc termic. Prin urmare, poate rezista la temperaturi ridicate și medii dure ale producției de LED-uri cu luminozitate ridicată. Este un material solid monolit care atinge densitatea teoretică, produce particule minime și prezintă o rezistență foarte mare la coroziune și eroziune. Materialul poate modifica opacitatea și conductibilitatea fără a introduce impurități metalice. Suporturile de napolitane au, de obicei, 17 inchi în diametru și pot ține până la 40 de napolitane de 2-4 inci.