Paletă în consolă din carbură de siliciu (paletă în consolă SiC)

Paletă în consolă din carbură de siliciu (paletă în consolă din SiC) Imagine prezentată

Scurtă descriere:

Trimiteți-ne un e-mail

Caracteristici

Diagramă detaliată

Prezentare generală a produsului

Paleta cantilever din carbură de siliciu, fabricată din carbură de siliciu lipită prin reacție de înaltă performanță (RBSiC), este o componentă critică utilizată în sistemele de încărcare și manipulare a napolitanelor pentru aplicații semiconductoare și fotovoltaice.
Comparativ cu paletele tradiționale din cuarț sau grafit, paletele cantilever din SiC oferă o rezistență mecanică superioară, duritate ridicată, dilatare termică redusă și o rezistență remarcabilă la coroziune. Acestea mențin o stabilitate structurală excelentă la temperaturi ridicate, îndeplinind cerințele stricte pentru dimensiuni mari ale plachetelor, o durată de viață extinsă și o contaminare ultra-scăzută.

Odată cu dezvoltarea continuă a proceselor semiconductoare către diametre mai mari ale napolitanelor, randament mai mare și medii de procesare mai curate, paletele cantilever din SiC au înlocuit treptat materialele convenționale, devenind alegerea preferată pentru cuptoarele de difuzie, LPCVD și echipamentele aferente la temperaturi înalte.

Caracteristici ale produsului

Stabilitate excelentă la temperaturi ridicate
- Funcționează fiabil la 1000–1300℃ fără deformare.
- Temperatura maximă de funcționare până la 1380 ℃.
Capacitate portantă mare
- Rezistență la încovoiere de până la 250–280 MPa, mult mai mare decât a paletelor din cuarț.
- Capabil să gestioneze napolitane cu diametru mare (300 mm și peste).
Durată de viață extinsă și întreținere redusă
- Coeficient de dilatare termică scăzut (4,5 × 10⁻⁶ K⁻¹), potrivit pentru materialele de acoperire LPCVD.
- Reduce crăpăturile și exfolierea induse de stres, prelungind semnificativ ciclurile de curățare și întreținere.
Rezistență la coroziune și puritate
- Rezistență excelentă la acizi și alcali.
- Microstructură densă cu porozitate deschisă <0,1%, reducând la minimum generarea de particule și eliberarea de impurități.
Design compatibil cu automatizarea
- Geometrie transversală stabilă cu precizie dimensională ridicată.
- Se integrează perfect cu sistemele robotizate de încărcare și descărcare a plachetelor, permițând o producție complet automatizată.

Proprietăți fizice și chimice

Articol	Unitate	Date
Temperatura maximă de funcționare	℃	1380
Densitate	g/cm³	3,04 – 3,08
Porozitate deschisă	%	< 0,1
Rezistență la încovoiere	MPa	250 (20℃), 280 (1200℃)
Modulul de elasticitate	GPa	330 (20℃), 300 (1200℃)
Conductivitate termică	W/m·K	45 (1200℃)
Coeficientul de dilatare termică	K⁻¹×10⁻⁶	4.5
Duritate Vickers	HV2	≥ 2100
Rezistență la acid/alcalină	-	Excelent

Lungimi standard:2378 mm, 2550 mm, 2660 mm
Dimensiuni personalizate disponibile la cerere

Aplicații

Industria semiconductorilor
- LPCVD (Depunere chimică de vapori la presiune joasă)
- Procese de difuzie (fosfor, bor etc.)
- Oxidare termică
Industria fotovoltaică
- Difuzie și acoperire cu polisiliciu și plachete monocristaline
- Recoacere și pasivizare la temperatură înaltă
Alte domenii
- Medii corozive la temperaturi ridicate
- Sisteme de manipulare precisă a napolitanelor care necesită o durată lungă de viață și contaminare redusă

Beneficii pentru clienți

Costuri operaționale reduse– Durată de viață mai lungă în comparație cu paletele din cuarț, reducând la minimum timpul de nefuncționare și frecvența de înlocuire.
Randament mai mare– Contaminarea extrem de scăzută asigură curățenia suprafeței napolitane și reduce ratele de defecte.
Pregătit pentru viitor– Compatibil cu plachete de dimensiuni mari și cu procese semiconductoare de ultimă generație.
Productivitate îmbunătățită– Complet compatibil cu sistemele de automatizare robotizată, susținând producția de volum mare.

Întrebări frecvente – Paletă cantilever din carbură de siliciu

Î1: Ce este o paletă în consolă din carbură de siliciu?
R: Este o componentă de susținere și manipulare a napolitanelor, fabricată din carbură de siliciu lipită prin reacție (RBSiC). Este utilizată pe scară largă în cuptoare de difuzie, LPCVD și alte procese fotovoltaice și semiconductoare la temperatură înaltă.

Î2: De ce să alegeți SiC în locul paletelor de cuarț?
R: Comparativ cu paletele din cuarț, paletele din SiC oferă:

Rezistență mecanică și capacitate portantă mai mari
Stabilitate termică mai bună la temperaturi de până la 1380 ℃
Durată de viață mult mai lungă și cicluri de întreținere reduse
Generarea mai mică de particule și riscul de contaminare
Compatibilitate cu dimensiuni mai mari ale plachetelor (300 mm și peste)

Î3: Ce dimensiuni de napolitane poate suporta paleta cantilever SiC?
R: Palete standard sunt disponibile pentru sistemele de cuptoare de 2378 mm, 2550 mm și 2660 mm. Dimensiuni personalizate sunt disponibile pentru a suporta napolitane de până la 300 mm și peste.

Despre noi

XKH este specializată în dezvoltarea, producția și vânzarea de sticlă optică specială și materiale cristaline noi, de înaltă tehnologie. Produsele noastre sunt destinate electronicii optice, electronicelor de larg consum și armatei. Oferim componente optice din safir, capace pentru lentile de telefoane mobile, ceramică, LT, SIC din carbură de siliciu, cuarț și napolitane din cristale semiconductoare. Cu expertiză calificată și echipamente de ultimă generație, excelăm în procesarea produselor non-standard, cu scopul de a fi o întreprindere lider în domeniul materialelor optoelectronice de înaltă tehnologie.