Carbură de siliciu tavă ceramică fraier siliciu carbură de tub ceramică alramare alimentare temperatură înaltă procesare personalizată

Carbură de siliciu tavă ceramică fraier siliciu carbură de tub ceramică alta temperatură sinterizare procesare personalizată imagine prezentată

Scurtă descriere:

Tava ceramică din carbură de siliciu și tuburile ceramice din carbură de siliciu sunt materiale indispensabile de înaltă performanță la fabricarea semiconductorilor. Tava ceramică din carbură de siliciu este utilizată în principal în procesarea și rulmentul plafonului, pentru a asigura stabilitatea procesului de înaltă precizie; Tuburile ceramice din carbură de siliciu sunt utilizate pe scară largă în tuburile cuptorului cu temperaturi ridicate, tuburile cuptorului de difuzie și alte scenarii pentru a rezista la medii extreme și pentru a menține gestionarea termică eficientă. Ambele se bazează pe carbură de siliciu ca material de bază, care a devenit o componentă cheie în industria semiconductorilor datorită proprietăților sale fizice și chimice excelente.

Trimiteți -ne e -mail

Detaliu produs

Etichete de produs

Principalele caracteristici:

1. Tava ceramică din carbură de siliciu
- rezistență ridicată la duritate și uzură: Duritatea este aproape de diamant și poate rezista la uzură mecanică în procesarea plafonului pentru o lungă perioadă de timp.
- Conductivitate termică ridicată și coeficient de expansiune termică scăzută: disiparea rapidă a căldurii și stabilitatea dimensională, evitând deformarea cauzată de tensiunea termică.
- Flatitate ridicată și finisare a suprafeței: Flatitatea de suprafață este la nivelul micronului, asigurând contactul complet între placă și disc, reducând contaminarea și deteriorarea.
Stabilitatea chimică: rezistență puternică la coroziune, potrivită pentru procesele de curățare și gravare umedă în fabricarea semiconductorilor.
2. Tubul ceramic din carbură de siliciu
- Rezistență la temperatură ridicată: poate funcționa într -un mediu la temperaturi ridicate peste 1600 ° C mult timp, potrivit pentru procesul de temperatură ridicat cu semiconductor.
Rezistență excelentă la coroziune: rezistent la acizi, alcalini și o varietate de solvenți chimici, potriviți pentru medii de proces dure.
- rezistență ridicată la duritate și uzură: Rezistați eroziunea particulelor și uzura mecanică, extinderea duratei de viață.
- Conductivitate termică ridicată și coeficient scăzut de expansiune termică: conducerea rapidă a căldurii și a stabilității dimensionale, reducând deformarea sau fisurarea cauzată de tensiunea termică.

Parametrul produsului ：

Parametrul tăvii ceramice din carbură de siliciu:

(Proprietate materială)		(Unitate)	(SSIC)
(Conținut sic)		(Greutate)%	> 99
(Dimensiunea medie a cerealelor)		micron	4-10
(Densitate)		kg/dm3	> 3.14
(Porozitate aparentă)		VO1%	<0,5
(Duritatea Vickers)	HV 0,5	GPA	28
() Rezistență la flexie (trei puncte)	20ºC	MPA	450
(Rezistență la compresiune)	20ºC	MPA	3900
(Modul elastic)	20ºC	GPA	420
(Durerea fracturii)		MPA/M '%	3.5
(Conductivitate termică)	20 ° ºC	W/(m*k)	160
(Rezistivitate)	20 ° ºC	Ohm.cm	106-108
(Coeficient de expansiune termică)	a (rt ** ... 80ºC)	K-1*10-6	4.3
(Temperatura maximă de funcționare)		OºC	1700

Parametrul tubului ceramic din carbură de siliciu:

Articole	Index
α-SIC	99% min
Porozitate aparentă	16% max
Densitate în vrac	2,7g/cm3 min
Rezistența la îndoire la temperatură ridicată	100 MPa min
Coeficient de expansiune termică	K -1 4.7x10 -6
Coeficient de conductivitate termică (1400ºC)	24 W/MK
Max. Temperatura de lucru	1650ºC

Principalele aplicații:

1. Placă ceramică din carbură de siliciu
- Tăierea și lustruirea plajării: servește ca platformă de rulment pentru a asigura o precizie și stabilitate ridicată în timpul tăierii și lustruirii.
- Procesul de litografie: placa este fixată în mașina de litografie pentru a asigura poziționarea de înaltă precizie în timpul expunerii.
- Polustru mecanic chimic (CMP): acționează ca o platformă de sprijin pentru plăcuțele de lustruire, oferind presiune uniformă și distribuție de căldură.
2. Tubul ceramic din carbură de siliciu
- Tub de cuptor cu temperatură ridicată: utilizat pentru echipamente de temperatură ridicată, cum ar fi cuptorul de difuzie și cuptorul de oxidare pentru a transporta napolitane pentru tratarea procesului de temperatură ridicată.
- Proces CVD/PVD: ca tub de rulment în camera de reacție, rezistent la temperaturi ridicate și gaze corozive.
- Accesorii pentru echipamente cu semiconductor: pentru schimbătoare de căldură, conducte de gaz etc., pentru a îmbunătăți eficiența de gestionare termică a echipamentelor.
XKH oferă o gamă completă de servicii personalizate pentru tăvi ceramice din carbură de siliciu, căni de aspirație și tuburi ceramice din carbură de siliciu. Tăvi ceramice din carbură de siliciu și cupe de aspirație, XKH pot fi personalizate în funcție de cerințele clienților de diferite dimensiuni, forme și rugozitate de suprafață și susțin tratamentul special de acoperire, sporirea rezistenței la uzură și a rezistenței la coroziune; Pentru tuburile ceramice din carbură de siliciu, XKH poate personaliza o varietate de diametrul interior, diametrul exterior, lungimea și structura complexă (cum ar fi tubul în formă sau tubul poros) și asigură straturi de lustruire, anti-oxidare și alte procese de tratare a suprafeței. XKH se asigură că clienții pot profita din plin de beneficiile de performanță ale produselor ceramice din carbură de siliciu pentru a îndeplini cerințele solicitante ale câmpurilor de fabricație de înaltă calitate, cum ar fi semiconductori, LED-uri și fotovoltaice.