Ventilatoare ceramice din carbură de siliciu Furnizare de tuburi ceramice din carbură de siliciu Sinterizare la temperatură înaltă Prelucrare personalizată

Scurtă descriere:

Tava ceramică din carbură de siliciu și tuburile ceramice din carbură de siliciu sunt materiale indispensabile de înaltă performanță în fabricarea semiconductorilor. Tava ceramică din carbură de siliciu este utilizată în principal în prelucrarea napolitanelor fixe și la rulmenți, pentru a asigura stabilitatea procesului de înaltă precizie; Tuburile ceramice din carbură de siliciu sunt utilizate pe scară largă în tuburile de cuptor la temperatură înaltă, tuburile de cuptor cu difuzie și alte scenarii pentru a rezista la medii extreme și a menține un management termic eficient. Ambele au la bază carbura de siliciu ca material de bază, care a devenit o componentă cheie în industria semiconductorilor datorită proprietăților sale fizice și chimice excelente.

Trimiteți-ne un e-mail

Caracteristici

Caracteristici principale:

1. Tavă ceramică din carbură de siliciu
- Duritate ridicată și rezistență la uzură: duritatea este apropiată de cea a diamantului și poate rezista la uzura mecanică în prelucrarea napolitanelor pentru o perioadă lungă de timp.
- Conductivitate termică ridicată și coeficient de dilatare termică scăzut: disipare rapidă a căldurii și stabilitate dimensională, evitând deformările cauzate de stresul termic.
- Planeitate și finisaj al suprafeței ridicate: Planeitatea suprafeței este de până la nivelul micronilor, asigurând contactul complet între plachetă și disc, reducând contaminarea și deteriorarea.
Stabilitate chimică: Rezistență puternică la coroziune, potrivită pentru curățarea umedă și procesele de gravare în fabricarea semiconductorilor.
2. Tub ceramic din carbură de siliciu
- Rezistență la temperaturi ridicate: Poate funcționa în medii cu temperaturi ridicate de peste 1600°C pentru o perioadă lungă de timp, potrivit pentru procesele semiconductoare la temperaturi înalte.
Rezistență excelentă la coroziune: rezistent la acizi, alcali și o varietate de solvenți chimici, potrivit pentru medii de proces dure.
- Duritate ridicată și rezistență la uzură: rezistă la eroziunea particulelor și uzura mecanică, prelungește durata de viață.
- Conductivitate termică ridicată și coeficient de dilatare termică scăzut: conducere rapidă a căldurii și stabilitate dimensională, reducând deformarea sau fisurarea cauzată de stresul termic.

Parametrul produsului:

Parametrul tăvii ceramice din carbură de siliciu:

(Proprietate materială)		(Unitate)	(ssic)
(conținut de SiC)		(Greutate)%	>99
(Dimensiunea medie a granulelor)		micron	4-10
(Densitate)		kg/dm³	>3.14
(Porozitate aparentă)		Vo1%	<0,5
(Duritate Vickers)	HV 0.5	GPa	28
() Rezistență la încovoiere (trei puncte)	20ºC	MPa	450
(Rezistență la compresiune)	20ºC	MPa	3900
(Modul de elasticitate)	20ºC	GPa	420
(Rezistență la fractură)		MPa/m%	3.5
(Conductivitate termică)	20°C	W/(m*K)	160
(Rezistență)	20°C	Ohm.cm	106-108
(Coeficient de dilatare termică)	a(RT**...80ºC)	K-1*10-6	4.3
(Temperatura maximă de funcționare)		°C	1700

Parametrul tubului ceramic din carbură de siliciu:

Articole	Index
α-SIC	Minim 99%
Porozitate aparentă	16% maxim
Densitate în vrac	2,7 g/cm³ min
Rezistența la încovoiere la temperatură ridicată	100 Mpa min
Coeficientul de dilatare termică	K-1 4,7x10 -6
Coeficient de conductivitate termică (1400ºC)	24 W/mk
Temperatura maximă de lucru	1650ºC

Aplicații principale:

1. Placă ceramică din carbură de siliciu
- Tăiere și lustruire napolitană: servește ca platformă de susținere pentru a asigura o precizie și o stabilitate ridicată în timpul tăierii și lustruirii.
- Procesul de litografie: Placheta este fixată în mașina de litografie pentru a asigura o poziționare de înaltă precizie în timpul expunerii.
- Lustruire chimico-mecanică (CMP): acționează ca o platformă de susținere pentru discuri de lustruit, asigurând o presiune uniformă și o distribuție uniformă a căldurii.
2. Tub ceramic din carbură de siliciu
- Tub de cuptor la temperatură înaltă: utilizat pentru echipamente la temperatură înaltă, cum ar fi cuptoarele de difuzie și cuptoarele de oxidare, pentru a transporta napolitane pentru tratarea proceselor la temperatură înaltă.
- Procedeu CVD/PVD: Ca tub de lagăr în camera de reacție, rezistent la temperaturi ridicate și gaze corozive.
- Accesorii pentru echipamente semiconductoare: pentru schimbătoare de căldură, conducte de gaze etc., pentru îmbunătățirea eficienței managementului termic al echipamentelor.
XKH oferă o gamă completă de servicii personalizate pentru tăvi ceramice din carbură de siliciu, ventuze și tuburi ceramice din carbură de siliciu. Tăvile și ventuzele ceramice din carbură de siliciu XKH pot fi personalizate în funcție de cerințele clienților, în funcție de diferite dimensiuni, forme și rugozități ale suprafeței și pot suporta tratamente speciale de acoperire, sporind rezistența la uzură și la coroziune. Pentru tuburile ceramice din carbură de siliciu, XKH poate personaliza o varietate de diametre interior, diametre exterior, lungimi și structuri complexe (cum ar fi tuburi profilate sau tuburi poroase) și poate oferi procese de lustruire, acoperire antioxidantă și alte procese de tratare a suprafeței. XKH se asigură că clienții pot profita din plin de beneficiile de performanță ale produselor ceramice din carbură de siliciu pentru a satisface cerințele exigente ale domeniilor de producție de înaltă performanță, cum ar fi semiconductorii, LED-urile și fotovoltaica.