Navă cu napolitane din carbură de siliciu (SiC)

Imagine prezentată a unei navete cu napolitane din carbură de siliciu (SiC)

Scurtă descriere:

Nacela pentru napolitane din carbură de siliciu (SiC) este un suport de proces pentru semiconductori, fabricat din material SiC de înaltă puritate, conceput pentru a susține și transporta napolitane în timpul proceselor critice la temperaturi ridicate, cum ar fi epitaxia, oxidarea, difuzia și recoacerea.

Trimiteți-ne un e-mail

Caracteristici

Diagramă detaliată

Prezentare generală a sticlei de cuarț

Odată cu dezvoltarea rapidă a semiconductorilor de putere și a dispozitivelor cu bandă interzisă largă, plăcuțele convenționale din cuarț se confruntă cu limitări precum deformarea la temperaturi ridicate, contaminarea severă a particulelor și durata de viață scurtă. Plăcuțele cu plachete SiC, care prezintă stabilitate termică superioară, contaminare redusă și durată de viață extinsă, înlocuiesc din ce în ce mai mult plăcuțele cu cuarț și devin alegerea preferată în fabricarea dispozitivelor SiC.

Caracteristici cheie

1. Avantaje materiale

Fabricat din SiC de înaltă puritate cuduritate și rezistență ridicate.
Punct de topire peste 2700°C, mult mai ridicat decât cel al cuarțului, asigurând stabilitate pe termen lung în medii extreme.

2. Proprietăți termice

Conductivitate termică ridicată pentru un transfer rapid și uniform de căldură, reducând la minimum stresul pe napolitană.
Coeficientul de dilatare termică (CTE) se potrivește îndeaproape cu substraturile de SiC, reducând curbarea și fisurarea napolitanelor.

3. Stabilitate chimică

Stabil la temperaturi ridicate și în diverse atmosfere (H₂, N₂, Ar, NH₃ etc.).
Rezistență excelentă la oxidare, prevenind descompunerea și generarea de particule.

4. Performanța procesului

Suprafața netedă și densă reduce împrăștierea particulelor și contaminarea.
Își menține stabilitatea dimensională și capacitatea de încărcare după utilizare îndelungată.

5. Eficiența costurilor

Durată de viață de 3-5 ori mai lungă decât bărcile din cuarț.
Frecvență mai mică de întreținere, reducând timpii de nefuncționare și costurile de înlocuire.

Aplicații

Epitaxie SiCSuportă substraturi de SiC de 4 inci, 6 inci și 8 inci în timpul creșterii epitaxiale la temperaturi ridicate.
Fabricarea dispozitivelor de alimentareIdeal pentru MOSFET-uri SiC, diode cu barieră Schottky (SBD), IGBT-uri și alte dispozitive.
Tratament termicProcese de recoacere, nitrurare și carbonizare.
Oxidare și difuziePlatformă stabilă de susținere a napolitanelor pentru oxidare și difuzie la temperaturi ridicate.

Specificații tehnice

Articol	Specificații
Material	Carbură de siliciu (SiC) de înaltă puritate
Dimensiunea napolitanei	4 inci / 6 inci / 8 inci (personalizabil)
Temperatura maximă de funcționare	≤ 1800°C
Expansiune termică CTE	4,2 × 10⁻⁶ /K (aproape de substratul de SiC)
Conductivitate termică	120–200 W/m·K
Rugozitatea suprafeței	Ra < 0,2 μm
Paralelism	±0,1 mm
Durata de viață	≥ 3 ori mai lungi decât bărcile din cuarț

Comparație: Barcă de cuarț vs. Barcă de SiC

Dimensiune	Barcă de cuarț	Barcă SiC
Rezistență la temperatură	≤ 1200°C, deformare la temperaturi ridicate.	≤ 1800°C, stabil termic
Potrivire CTE cu SiC	Nepotrivire mare, risc de solicitare a plachetei	Potrivire strânsă, reduce crăparea napolitanei
Contaminarea cu particule	Ridicat, generează impurități	Suprafață joasă, netedă și densă
Durata de viață	Înlocuire scurtă și frecventă	Durată de viață lungă, de 3-5 ori mai lungă
Proces adecvat	Epitaxia convențională a Si	Optimizat pentru epitaxie SiC și dispozitive de alimentare

Întrebări frecvente – Navete tip wafer din carbură de siliciu (SiC)

1. Ce este o navă de napolitane SiC?

O nacelă pentru napolitane SiC este un suport de proces pentru semiconductori fabricat din carbură de siliciu de înaltă puritate. Este utilizată pentru a susține și transporta napolitane în timpul proceselor la temperaturi ridicate, cum ar fi epitaxia, oxidarea, difuzia și recoacerea. Comparativ cu napolitanele tradiționale din cuarț, napolitanele SiC oferă o stabilitate termică superioară, o contaminare mai redusă și o durată de viață mai lungă.

2. De ce să alegeți navele cu plachete de SiC în locul navelor cu cuarț?

Rezistență mai mare la temperaturăStabil până la 1800°C față de cuarț (≤1200°C).
O mai bună potrivire CTEAproape de substraturile de SiC, reducând la minimum stresul și fisurarea pe napolitane.
Generare mai mică de particuleSuprafața netedă și densă reduce contaminarea.
Durată de viață mai lungăDe 3-5 ori mai lung decât bărcile din cuarț, reducând costurile de proprietate.

3. Ce dimensiuni de napolitane pot suporta sistemele de napolitane SiC?

Oferim modele standard pentru4 inci, 6 inci și 8 incinapolitane, cu personalizare completă disponibilă pentru a satisface nevoile clienților.

4. În ce procese sunt utilizate în mod obișnuit navele de napolitane SiC?

Creștere epitaxială SiC
Fabricarea de dispozitive semiconductoare de putere (MOSFET-uri SiC, SBD-uri, IGBT-uri)
Recoacere la temperatură înaltă, nitridare și carbonizare
Procese de oxidare și difuzie

Despre noi

XKH este specializată în dezvoltarea, producția și vânzarea de sticlă optică specială și materiale cristaline noi, de înaltă tehnologie. Produsele noastre sunt destinate electronicii optice, electronicelor de larg consum și armatei. Oferim componente optice din safir, capace pentru lentile de telefoane mobile, ceramică, LT, SIC din carbură de siliciu, cuarț și napolitane din cristale semiconductoare. Cu expertiză calificată și echipamente de ultimă generație, excelăm în procesarea produselor non-standard, cu scopul de a fi o întreprindere lider în domeniul materialelor optoelectronice de înaltă tehnologie.