Treaptă ultra-precizie cu rulment de aer din SiC

Imagine prezentată a platformei cu rulment de aer din SiC de ultra-precizie

Scurtă descriere:

Odată cu evoluția continuă a industriei semiconductorilor, echipamentele de procesare și inspecție necesită performanțe din ce în ce mai ridicate. Bazându-ne pe o vastă expertiză în controlul mișcării și poziționare la nivel nanometric, am dezvoltat o platformă planară de tip H, cu două axe, de ultra-precizie, cu rulmenți de aer.

Trimiteți-ne un e-mail

Caracteristici

Diagramă detaliată

Prezentare generală

Proiectată cu o structură ceramică din carbură de siliciu (SiC) optimizată cu elemente finite și tehnologie de rulmenți cu aer compensat, platforma oferă o precizie, rigiditate și răspuns dinamic remarcabile. Este ideală pentru:

Prelucrarea și inspecția semiconductorilor
Micro/nanofabricație și metrologie
Tăiere și lustruire cu muște la scară nanometrică
Scanare de precizie de mare viteză

Caracteristici cheie

Ghidaj cu lagăr de aer din SiCpentru rigiditate și precizie ultra-înaltă
Dinamică ridicatăViteză de până la 1 m/s, accelerație de până la 4 g, sedimentare rapidă
Axa Y cu portal cu acționare dublăasigură o capacitate mare de încărcare și stabilitate
Opțiuni codificatorrețea optică sau interferometru laser
Precizia poziționării±0,15 μm;repetabilitate±75 nm
Rutare optimizată a cablurilorpentru un design curat și fiabilitate pe termen lung
Configurații personalizabilepentru nevoi specifice aplicației

Design ultra-precis și arhitectură fără contact, cu acționare directă

Cadru ceramic SiC~5× rigiditatea aliajului de aluminiu și ~5× dilatarea termică mai mică, asigurând stabilitate la viteze mari și robustețe termică.
Rulment cu aer compensatDesignul brevetat îmbunătățește rigiditatea, capacitatea de încărcare și stabilitatea mișcării.
Performanță dinamicăSuportă o viteză de 1 m/s și o accelerație de 4 g, ideală pentru procese cu randament ridicat.
Integrare perfectăCompatibil cu sisteme de izolare a vibrațiilor, platforme rotative, module de înclinare și platforme de manipulare a plachetelor.
Managementul cablurilorRaza de îndoire controlată minimizează stresul pentru o durată de viață extinsă.

Motor liniar fără miezMișcare lină cu forță de angrenare zero.
Acționare multi-motorPlasarea motorului în planul de sarcină îmbunătățește rectilinietatea, planeitatea și precizia unghiulară.
Izolare termicăMotoarele sunt izolate de structura scenei; răcire opțională cu aer sau apă pentru cicluri de sarcină ridicată.

Specificații

Model	400-400	500-500	600-600
Topoare	X (scanare) / Y (pas)	X (scanare) / Y (pas)	X (scanare) / Y (pas)
Cursă (mm)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
Precizie (μm)	±0,15	±0,2	±0,2
Repetabilitate (nm)	±75	±100	±100
Rezoluție (nm)	0,3	0,3	0,3
Viteză maximă (m/s)	1	1	1
Accelerație (g)	4	4	4
Liniaritate (μm)	±0,2	±0,3	±0,4
Stabilitate (nm)	±5	±5	±5
Sarcină maximă (kg)	20	20	20
Tangaj/Rolă/Gicație (arc-sec)	±1	±1	±1

Condiții de testare:

Alimentare cu aer: curat, uscat; punct de rouă ≤ 0°F; filtrare a particulelor ≤ 0,25 μm; sau azot 99,99%.
Precizia măsurată la 25 mm deasupra centrului platformei la 20±1 °C, 40–60% umiditate relativă.

Aplicații

Litografie, inspecție și manipulare a napolitanelor semiconductorilor
Micro/nanofabricație și metrologie de precizie
Fabricarea de optică de înaltă performanță și interferometrie
Cercetare aerospațială și științifică avansată

Întrebări frecvente – Treapta cu rulment de aer din carbură de siliciu

1. Ce este o treaptă cu curenți de aer?

O platformă cu rulment de aer folosește o peliculă subțire de aer sub presiune între platformă și ghidaj pentru a oferimișcare fără frecare, fără uzură și ultra-linăSpre deosebire de rulmenții mecanici convenționali, acesta elimină fenomenul de alunecare prin lipire, oferă o precizie la nivel nanometric și susține fiabilitatea pe termen lung.

2. De ce se utilizează carbură de siliciu (SiC) pentru structura scenei?

Rigiditate ridicată~5× mai mare decât aliajul de aluminiu, reducând la minimum deformarea în timpul mișcării dinamice.
Expansiune termică redusă~5× mai puțin decât aluminiul, menținând precizia în cazul variațiilor de temperatură.
UșorDensitate mai mică în comparație cu oțelul, permițând funcționarea la viteză mare și cu accelerație mare.
Stabilitate excelentăAmortizare și rigiditate superioare pentru o poziționare ultra-precisă.

3. Scena necesită lubrifiere sau întreținere?

Nu este necesară lubrifierea tradițională, deoarece existăfără contact mecanicÎntreținerea recomandată include:

Furnizareaer comprimat curat și uscat sau azot
Inspecția periodică a filtrelor și uscătoarelor
Monitorizarea cablurilor și a sistemelor de răcire

4. Care sunt cerințele privind alimentarea cu aer?

Punct de rouă: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Filtrare particule: ≤ 0,25 μm
Aer curat și uscat sau azot pur 99,99%
Presiune stabilă cu fluctuații minime

Despre noi

XKH este specializată în dezvoltarea, producția și vânzarea de sticlă optică specială și materiale cristaline noi, de înaltă tehnologie. Produsele noastre sunt destinate electronicii optice, electronicelor de larg consum și armatei. Oferim componente optice din safir, capace pentru lentile de telefoane mobile, ceramică, LT, SIC din carbură de siliciu, cuarț și napolitane din cristale semiconductoare. Cu expertiză calificată și echipamente de ultimă generație, excelăm în procesarea produselor non-standard, cu scopul de a fi o întreprindere lider în domeniul materialelor optoelectronice de înaltă tehnologie.