Napolitane SiC din carbură de siliciu de 6 inch și 150 mm, tip 4H-N, pentru cercetare în producție MOS sau SBD și grad fictiv
Domenii de aplicare
Substratul monocristal din carbură de siliciu de 6 inci joacă un rol crucial în multiple industrii. În primul rând, este utilizat pe scară largă în industria semiconductorilor pentru fabricarea de dispozitive electronice de mare putere, cum ar fi tranzistoare de putere, circuite integrate și module de putere. Conductivitatea termică ridicată și rezistența la temperaturi ridicate permit o mai bună disipare a căldurii, rezultând o eficiență și o fiabilitate îmbunătățite. În al doilea rând, napolitanele din carbură de siliciu sunt esențiale în domeniile de cercetare pentru dezvoltarea de noi materiale și dispozitive. În plus, napolitanele din carbură de siliciu își găsesc aplicații extinse în domeniul optoelectronicii, inclusiv în fabricarea de LED-uri și diode laser.
Specificații ale produsului
Substratul monocristal din carbură de siliciu, cu diametrul de 6 inci, are un diametru de 6 inci (aproximativ 152,4 mm). Rugozitatea suprafeței este Ra < 0,5 nm, iar grosimea este de 600 ± 25 μm. Substratul poate fi personalizat cu conductivitate de tip N sau de tip P, în funcție de cerințele clientului. Mai mult, prezintă o stabilitate mecanică excepțională, fiind capabil să reziste la presiune și vibrații.
Diametru | 150 ± 2,0 mm (6 inci) | ||||
Grosime | 350 μm ± 25 μm | ||||
Orientare | Pe axă: <0001>±0,5° | În afara axei: 4,0° către 1120±0,5° | |||
Politip | 4H | ||||
Rezistență (Ω·cm) | 4H-N | 0,015~0,028 Ω·cm/0,015~0,025ohm·cm | |||
4/6H-SI | >1E5 | ||||
Orientare plată principală | {10-10}±5,0° | ||||
Lungimea principală a plăcii (mm) | 47,5 mm ± 2,5 mm | ||||
Margine | Teșitură | ||||
TTV/Arc/Urzeală (um) | ≤15 / ≤40 / ≤60 | ||||
AFM Front (Si-face) | Ra ≤ 1 nm pentru polish | ||||
CMP Ra≤0,5 nm | |||||
Valoarea clientului (LTV) | ≤3μm (10mm * 10mm) | ≤5μm (10mm * 10mm) | ≤10μm (10mm * 10mm) | ||
TTV | ≤5μm | ≤10μm | ≤15μm | ||
Coajă de portocală/sâmburi/crăpături/contaminare/pete/striuri | Nici unul | Nici unul | Nici unul | ||
indentări | Nici unul | Nici unul | Nici unul |
Substratul monocristal din carbură de siliciu de 6 inci este un material de înaltă performanță, utilizat pe scară largă în industria semiconductorilor, cercetare și optoelectronică. Acesta oferă o conductivitate termică excelentă, stabilitate mecanică și rezistență la temperaturi ridicate, fiind potrivit pentru fabricarea de dispozitive electronice de mare putere și cercetarea de noi materiale. Oferim diverse specificații și opțiuni de personalizare pentru a satisface diversele cerințe ale clienților.Contactați-ne pentru mai multe detalii despre napolitanele din carbură de siliciu!
Diagramă detaliată

