8 inch 200 mm 4H-N SiC Wafer Manechin conductiv de cercetare

Scurtă descriere:

Pe măsură ce piețele de transport, energie și industriale evoluează, cererea pentru electronice de putere fiabile și de înaltă performanță continuă să crească. Pentru a satisface nevoile de performanță îmbunătățită a semiconductoarelor, producătorii de dispozitive caută materiale semiconductoare cu bandă interzisă largă, cum ar fi portofoliul nostru 4H SiC Prime Grade de plachete cu carbură de siliciu (SiC) de tip 4H n.


Detaliu produs

Etichete de produs

Datorită proprietăților sale fizice și electronice unice, materialul semiconductor SiC de 200 mm este utilizat pentru a crea dispozitive electronice de înaltă performanță, la temperaturi înalte, rezistente la radiații și de înaltă frecvență. Prețul substratului SiC de 8 inch scade treptat pe măsură ce tehnologia devine mai avansată și cererea crește. Evoluțiile tehnologice recente duc la fabricarea la scară de producție a napolitanelor SiC de 200 mm. Principalele avantaje ale materialelor semiconductoare plachete SiC în comparație cu plachetele Si și GaAs: Intensitatea câmpului electric al 4H-SiC în timpul defalcării avalanșei este cu un ordin de mărime mai mare decât valorile corespunzătoare pentru Si și GaAs. Aceasta duce la o scădere semnificativă a rezistivității Ron în starea de pornire. Rezistivitatea scăzută în stare, combinată cu o densitate mare de curent și conductivitate termică, permite utilizarea unei matrițe foarte mici pentru dispozitivele de alimentare. Conductivitatea termică ridicată a SiC reduce rezistența termică a cipului. Proprietățile electronice ale dispozitivelor pe bază de napolitane SiC sunt foarte stabile în timp și stabile la temperatură, ceea ce asigură o fiabilitate ridicată a produselor. Carbura de siliciu este extrem de rezistentă la radiații dure, care nu degradează proprietățile electronice ale cipului. Temperatura de funcționare limită ridicată a cristalului (mai mult de 6000C) vă permite să creați dispozitive extrem de fiabile pentru condiții de operare grele și aplicații speciale. În prezent, putem furniza loturi mici de 200 mm SiC în mod constant și continuu și avem ceva stoc în depozit.

Caietul de sarcini

Număr Articol Unitate Productie Cercetare Manichin
1. Parametri
1.1 politip -- 4H 4H 4H
1.2 orientarea suprafeței ° <11-20>4±0,5 <11-20>4±0,5 <11-20>4±0,5
2. Parametru electric
2.1 dopant -- azot de tip n azot de tip n azot de tip n
2.2 rezistivitate ohm ·cm 0,015~0,025 0,01~0,03 NA
3. Parametru mecanic
3.1 diametru mm 200±0,2 200±0,2 200±0,2
3.2 grosime μm 500±25 500±25 500±25
3.3 Orientarea crestăturii ° [1- 100]±5 [1- 100]±5 [1- 100]±5
3.4 Adâncimea crestăturii mm 1~1,5 1~1,5 1~1,5
3.5 LTV μm ≤5(10mm*10mm) ≤5(10mm*10mm) ≤10(10mm*10mm)
3.6 TTV μm ≤10 ≤10 ≤15
3.7 Arc μm -25~25 -45~45 -65~65
3.8 Urzeală μm ≤30 ≤50 ≤70
3.9 AFM nm Ra≤0,2 Ra≤0,2 Ra≤0,2
4. Structura
4.1 densitatea microtevilor ea/cm2 ≤2 ≤10 ≤50
4.2 continutul de metal atomi/cm2 ≤1E11 ≤1E11 NA
4.3 TSD ea/cm2 ≤500 ≤1000 NA
4.4 BPD ea/cm2 ≤2000 ≤5000 NA
4.5 TED ea/cm2 ≤7000 ≤10000 NA
5. Calitate pozitivă
5.1 faţă -- Si Si Si
5.2 finisarea suprafeței -- Si-face CMP Si-face CMP Si-face CMP
5.3 particulă ea/napolitana ≤100 (dimensiune≥0,3μm) NA NA
5.4 zgâria ea/napolitana ≤5, lungime totală≤200mm NA NA
5.5 Margine
așchii/indentări/fisuri/pete/contaminare
-- Nici unul Nici unul NA
5.6 Zone politip -- Nici unul Suprafață ≤10% Suprafata ≤30%
5.7 marcaj frontal -- Nici unul Nici unul Nici unul
6. Calitate din spate
6.1 finisaj spate -- C-face MP C-face MP C-face MP
6.2 zgâria mm NA NA NA
6.3 Marginea defecte din spate
chips-uri/indentări
-- Nici unul Nici unul NA
6.4 Rugozitatea spatelui nm Ra≤5 Ra≤5 Ra≤5
6.5 Marcare pe spate -- Crestătură Crestătură Crestătură
7. Marginea
7.1 margine -- Teşitură Teşitură Teşitură
8. Pachet
8.1 ambalaj -- Epi-gata cu vid
ambalaj
Epi-gata cu vid
ambalaj
Epi-gata cu vid
ambalaj
8.2 ambalaj -- Multi-plachetă
ambalarea casetelor
Multi-plachetă
ambalarea casetelor
Multi-plachetă
ambalarea casetelor

Diagrama detaliată

8 inch SiC03
8 inch SiC4
8 inch SiC5
8 inch SiC6

  • Anterior:
  • Următorul:

  • Scrie mesajul tău aici și trimite-l nouă